Advances in SiC-Coated Graphite Susceptors for Semiconductor Applications

وتوفر مُستقبِلات الغرافيت المُنَزَّعة بالسي سي سي سي جي مقاومة للتآكل، والقدرة على الاستمرار، والكفاءة في صنع شبه الموصلات، حتى في بيئتين قاسية هما H3 وC2.
وتوفر مُستقبِلات الغرافيت المُنَزَّعة بالسي سي سي سي جي مقاومة للتآكل، والقدرة على الاستمرار، والكفاءة في صنع شبه الموصلات، حتى في بيئتين قاسية هما H3 وC2.