التحدي الأساسي: 1600 درجة مئوية وما بعدها يتطلب نمو الطبقات الفوقية عالية الجودة على رقائق مقاس 8 بوصة بيئة خاملة كيميائيًا وخالية من العيوب حرارياً. أي انحراف بسيط في سطح المُستقبل أو التوصيل الحراري يمكن أن يؤدي إلى عيوب قاتلة في الرقاقة.
في فيتيك لأشباه الموصلات ، قمنا بتحسين لدينا طلاء CVD SiC وTaC (كربيد التنتالوم). التقنيات لتلبية هذه المعايير الصارمة المحددة:
القياس الهندسي الدقيق: نحن نضمن أن يظل التصميم الهيكلي ومتطلبات العملية الخاصة بمستشعراتنا مقاس 8 بوصات متسقة تمامًا مع التصميمات المثبتة مقاس 4 بوصات و6 بوصات، مما يسمح بالانتقال السلس في الإنتاج الضخم.
نقاء فائق: يتم الحفاظ على المواد الأساسية لدينا بشكل صارم عند مستويات الشوائب أقل من 5 جزء في المليون مما يضمن عدم التلوث أثناء عملية نمو Epi الحساسة.
ميزة طلاء TaC: بالنسبة للبيئات الأكثر تطلبًا (أعلى من 2000 درجة مئوية)، توفر طلاءات كربيد التنتالوم لدينا حماية فائقة ضد تآكل الهيدروجين، مما يطيل عمر خدمة مكونات الجرافيت بشكل كبير.
شراكة فنية لقيمة طويلة الأمد يتطلب التميز في التصنيع في عام 2026 أكثر من مجرد مورد؛ فهو يتطلب شريكًا استشاريًا يفهم الفيزياء الكامنة وراء المادة. نحن نركز على تقديم الحلول التقنية التي تعمل على تحسين الإنتاجية وتقليل وقت التوقف عن العمل لشركائنا العالميين.
سواء كنت تعمل مع MOCVD أو SiC Epitaxy أو زرع الأيونات ، هدفنا هو توفير الأساس المادي الذي يجعل تصميمات شرائح الجيل التالي الخاصة بك حقيقة واقعة.
الاتصال للحصول على المواصفات الفنية: تتوفر أوراق بيانات المواد التفصيلية والمقاطع العرضية SEM وتقييمات الرسم المخصصة عند الطلب.
