The Contiguous Wafer Boat from vet-china is designed for efficient wafer handling in semiconductor manufacturing. Engineered with precision, vet-china’s solution ensures thermal stability and chemical resistance, optimizing production processes while minimizing damage and enhancing throughput.
VET-china introduces a state-of-the-art Contiguous Wafer Boat engineered for the next generation of semiconductor manufacturing. This meticulously designed boat offers unparalleled precision in wafer handling, ensuring seamless operations and significantly reducing the risk of damage during processing.
Das aus hochwertigen Materialien gefertigte Contiguous Wafer Boat zeichnet sich durch hervorragende thermische Stabilität und außergewöhnliche chemische Beständigkeit aus und ist somit ideal für den Einsatz in Umgebungen mit hohen Temperaturen und rauen Chemikalien. Sein innovatives Design gewährleistet, dass die Wafer sicher gehalten und perfekt ausgerichtet werden, was den Durchsatz optimiert und die Fertigungseffizienz erhöht.
This cutting-edge wafer boat is tailored to meet the demanding needs of modern semiconductor fabs, supporting various wafer sizes and configurations. By incorporating the Contiguous Wafer Boat from vet-china into your production line, you can expect enhanced performance, reduced downtime, and increased yield rates.
Experience the difference with vet-china’s commitment to quality and innovation, delivering products that push the boundaries of semiconductor manufacturing. Choose the Contiguous Wafer Boat and elevate your wafer processing capabilities to new heights.
Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid
Rekristallisiertes Siliciumcarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungsmaterial, das in seiner Härte nur von Diamant übertroffen wird und bei einer hohen Temperatur von über 2000 °C entsteht. Es behält viele hervorragende Eigenschaften von SiC bei, z. B. hohe Temperaturbeständigkeit, starke Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Oxidationsbeständigkeit, gute Temperaturwechselbeständigkeit usw.
● Ausgezeichnete mechanische Eigenschaften. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlefaser, eine hohe Schlagzähigkeit, kann eine gute Leistung in extremen Temperaturumgebungen spielen, kann eine bessere Ausgleichsleistung in einer Vielzahl von Situationen spielen. Darüber hinaus hat es auch eine gute Flexibilität und wird nicht leicht durch Dehnung und Biegung beschädigt, was seine Leistung erheblich verbessert.
● High corrosion resistance. Recrystallized silicon carbide has high corrosion resistance to a variety of media, can prevent the erosion of a variety of corrosive media, can maintain its mechanical properties for a long time, has a strong adhesion, so that it has a longer service life. In addition, it also has good thermal stability, can adapt to a certain range of temperature changes, improve its application effect.
● Sintern schrumpft nicht. Da der Sinterprozess nicht schrumpft, verursachen keine Eigenspannungen Verformungen oder Risse im Produkt, und es können Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision hergestellt werden.
重结晶碳化硅物理特性 Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid | |
性质 / Eigentum | 典型数值 / Typischer Wert |
使用温度 / Working temperature (°C) | 1600°C (with oxygen), 1700°C (reducing environment) |
SiC含量 / SiC-Gehalt | > 99,96% |
自由Si含量 / Kostenloser Si-Inhalt | < 0,1% |
体积密度 / Bulk density | 2.60-2.70 g/cm3 |
气孔率 / Offensichtliche Porosität | < 16% |
抗压强度 / Compression strength | > 600 MPa |
常温抗弯强度 / Cold bending strength | 80-90 MPa (20°C) |
高温抗弯强度 Heißbiegefestigkeit | 90-100 MPa (1400°C) |
热膨胀系数 / Thermal expansion @1500°C | 4.70 10-6/°C |
导热系数 / Thermal conductivity @1200°C | 23 W/m•K |
杨氏模量 / Elastizitätsmodul | 240 GPa |
抗热震性 / Temperaturwechselbeständigkeit | Äußerst gut |
VET Energy is the real manufacturer of customized graphite and silicon carbide products with CVD coating, can supply various customized parts for semiconductor and photovoltaic industry. Our technical team comes from top domestic research institutions, can provide more professional material solutions for you.
We continuously develop advanced processes to provide more advanced materials, and have worked out an exclusive patented technology, which can make the bonding between the coating and the substrate tighter and less prone to detachment.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiC Beschichtung | |
性质 / Eigentum | 典型数值 / Typischer Wert |
晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β phase 多晶，主要为（111）取向 |
密度 / Dichte | 3,2 g/cm3 |
硬度 / Härte | 2500 维氏硬度（500g Last） |
晶粒大小 / Grain SiZe | 2~10μm |
纯度 / Chemische Reinheit | 99.99995% |
热容 / Wärmekapazität | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimationstemperatur | 2700℃ |
抗弯强度 / Biegefestigkeit | 415 MPa RT 4-Punkt |
杨氏模量 / Elastizitätsmodul | 430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃ |
导热系数 / Thermal Conductivity | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Wir laden Sie herzlich ein, unser Werk zu besuchen und mit uns zu diskutieren!
Mit Forschungs- und Entwicklungskapazitäten von Schlüsselmaterialien bis hin zu Endprodukten haben die Kern- und Schlüsseltechnologien unabhängiger geistiger Eigentumsrechte eine Reihe von wissenschaftlichen und technologischen Innovationen hervorgebracht.
German 
English 
Japanese 
French 
Korean 
Arabic 
Portuguese 
Danish 
Spanish 
Finnish 
Indonesian 
Italian 
Russian 
Persian 