VET Energy半月形零件采用碳化钽涂层，是一款高性能产品，旨在长期提供稳定可靠的性能。它具有优异的耐热性和热均匀性、高纯度和抗腐蚀性，是晶圆加工应用的理想之选。
TaC涂层是一种 采用物理气相沉积技术制备的碳化钽（TaC）涂层 ，具有以下特点：
1. 高硬度： TaC涂层 硬度高，通常可达2500-3000HV，是一种优良的硬质涂层。
2. 耐磨性： TaC涂层 具有很强的耐磨性，可以有效减少机械零件在使用过程中的磨损和损坏。
3. 耐高温性能好：TaC涂层在高温环境下也能保持其优异的性能。
4. 良好的化学稳定性：TaC涂层具有良好的化学稳定性，能够抵抗许多化学反应，如酸和碱。
Tantaalikarbidipinnoitteen fyysiset ominaisuudet TaC涂层的物理性能 | |
tiheys / Tiheys | 14.3 (克/立方厘米) |
Spesifinen säteilyaste / Erityinen säteily | 0.3 |
热 膨胀系数/ Thermal expansion coefficient | 6.3 10 -6 /K |
Pähkinän kovuus / Kovuus (HK) | 2000年香港 |
vastus / Vastus | 1× 10⁻⁵ 欧姆·厘米 |
热 稳定性/ Thermal stability | <2500℃ |
石墨尺寸变化/ Graphite size changes | -10~-20微米 |
Pinnoitteen paksuus / Pinnoitteen paksuus | ≥20μm 典型值（35μm±10μm） |
宁波维特能源科技有限公司是一家专注于高端先进材料生产和销售的高新技术企业，其材料和技术涵盖石墨、碳化硅、陶瓷、表面处理等领域。产品广泛应用于光伏、半导体、新能源、冶金等行业。
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