Prévenir la contamination : comment les revêtements de TaC ultra denses protègent les composants de chambre à vide critiques
Les revêtements TaC ultra denses préviennent la contamination dans les chambres à vide en réduisant l'excès de gaz, en améliorant la durabilité et en assurant l'inertie chimique dans les environnements critiques.
