The Contiguous Wafer Boat from vet-china is designed for efficient wafer handling in semiconductor manufacturing. Engineered with precision, vet-china’s solution ensures thermal stability and chemical resistance, optimizing production processes while minimizing damage and enhancing throughput.
VET-china introduces a state-of-the-art Contiguous Wafer Boat engineered for the next generation of semiconductor manufacturing. This meticulously designed boat offers unparalleled precision in wafer handling, ensuring seamless operations and significantly reducing the risk of damage during processing.
Construit avec des matériaux de haute qualité, le bateau Contiguous Wafer bénéficie d'une excellente stabilité thermique et d'une résistance chimique exceptionnelle, ce qui le rend idéal pour les environnements chimiques à haute température et rudes. Sa conception innovante garantit que les wafers sont solidement maintenus et parfaitement alignés, optimisant le débit et augmentant l'efficacité de fabrication.
This cutting-edge wafer boat is tailored to meet the demanding needs of modern semiconductor fabs, supporting various wafer sizes and configurations. By incorporating the Contiguous Wafer Boat from vet-china into your production line, you can expect enhanced performance, reduced downtime, and increased yield rates.
Experience the difference with vet-china’s commitment to quality and innovation, delivering products that push the boundaries of semiconductor manufacturing. Choose the Contiguous Wafer Boat and elevate your wafer processing capabilities to new heights.
Propriétés du carbure de silicium recristallisé
Le carbure de silicium recristallisé (R-SiC) est un matériau de haute performance dont la dureté est secondaire au diamant, qui se forme à une température supérieure à 2000°C. Il conserve de nombreuses excellentes propriétés de SiC, telles que la haute résistance à la température, une forte résistance à la corrosion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance aux chocs thermiques, etc.
● Excellentes propriétés mécaniques. Le carbure de silicium recrystallisé a plus de résistance et de rigidité que la fibre de carbone, une résistance à l'impact élevée, peut jouer une bonne performance dans des environnements de température extrême, peut jouer un meilleur contrepoids dans une variété de situations. En outre, il a également une bonne flexibilité et n'est pas facilement endommagé par l'étirement et la flexion, ce qui améliore grandement ses performances.
● High corrosion resistance. Recrystallized silicon carbide has high corrosion resistance to a variety of media, can prevent the erosion of a variety of corrosive media, can maintain its mechanical properties for a long time, has a strong adhesion, so that it has a longer service life. In addition, it also has good thermal stability, can adapt to a certain range of temperature changes, improve its application effect.
∙ Le frittage ne rétrécit pas. Comme le processus de frittage ne se rétrécit pas, aucune contrainte résiduelle ne causera de déformation ou de fissuration du produit, et des pièces aux formes complexes et de haute précision peuvent être préparées.
C'est pas vrai Propriétés physiques du carbure de silicium recrystallisé | |
性质 / Property | 典型数值 / Typical Value |
使用温度 / Working temperature (°C) | 1600°C (with oxygen), 1700°C (reducing environment) |
Contenu de SiC | > 99.96% |
(En milliers de dollars des États-Unis) Contenu | < 0,1% |
体积密度 / Bulk density | 2.60-2.70 g/cm3 |
Porosité apparente | < 16% |
抗压强度 / Compression strength | > 600 MPa |
常温抗弯强度 / Cold bending strength | 80-90 MPa (20°C) |
C'est pas vrai. Résistance à la flexion à chaud | 90-100 MPa (1400°C) |
热膨胀系数 / Thermal expansion @1500°C | 4.70 10-6/°C |
导热系数 / Thermal conductivity @1200°C | 23 W/m•K |
Module élastique | 240 GPa |
Résistance aux chocs thermiques | Très bon |
VET Energy is the real manufacturer of customized graphite and silicon carbide products with CVD coating, can supply various customized parts for semiconductor and photovoltaic industry. Our technical team comes from top domestic research institutions, can provide more professional material solutions for you.
We continuously develop advanced processes to provide more advanced materials, and have worked out an exclusive patented technology, which can make the bonding between the coating and the substrate tighter and less prone to detachment.
DCV SiC薄膜基本物理性能 Basic physical properties of CVD SiC coating | |
性质 / Property | 典型数值 / Typical Value |
晶体结构 / Crystal Structure | FCC β phase 多晶，主要为（111）取向 |
密度 / Density | 3.21 g/cm3 |
硬度 / Hardness | 2500 维氏硬度（500g load） |
晶粒大小 / Grain SiZe | 2~10μm |
纯度 / Chemical Purity | 99.99995% |
热容 / Heat Capacity | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimation Temperature | 2700℃ |
抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-point |
杨氏模量 / Young’ s Modulus | 430 Gpa 4pt bend, 1300℃ |
导热系数 / Thermal Conductivity | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Warmly welcome you to visit our factory, let’s have further discussion!
Avec des capacités de recherche et de développement allant des matériaux clés aux produits d'application finale, les technologies de base et les technologies clés des droits de propriété intellectuelle indépendants ont permis de réaliser un certain nombre d'innovations scientifiques et technologiques.
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