Half-moon part with Tantalum Carbide coating

VET Energy半月形零件采用碳化钽涂层,是一款高性能产品,旨在长期提供稳定可靠的性能。它具有优异的耐热性和热均匀性、高纯度和抗腐蚀性,是晶圆加工应用的理想之选。

TaC涂层是一种 采用物理气相沉积技术制备的碳化钽(TaC)涂层 ,具有以下特点:

1. 高硬度:  TaC涂层 硬度高,通常可达2500-3000HV,是一种优良的硬质涂层。

2. 耐磨性:  TaC涂层 具有很强的耐磨性,可以有效减少机械零件在使用过程中的磨损和损坏。

3. 耐高温性能好:TaC涂层在高温环境下也能保持其优异的性能。

4. 良好的化学稳定性:TaC涂层具有良好的化学稳定性,能够抵抗许多化学反应,如酸和碱。

 

TaC涂层1
TaC涂层5

碳化钽涂层物理特性物理特性

TaC涂层的物理性能  

密度 / Density

14.3 (克/立方厘米)

比辐射率 / Specific emissivity

0.3

 膨胀系数/ Thermal expansion coefficient

6.3 10 -6 /K

努氏硬度  Hardness (HK)

2000年香港

电阻 / Resistance

10⁻⁵ 欧姆·厘米

 稳定性/ Thermal stability

<2500℃

 石墨尺寸变化/ Graphite size changes

-10~-20微米

涂层厚度 / Coating thickness

≥20μm 典型值(35μm±10μm)

 

 

宁波维特能源科技有限公司是一家专注于高端先进材料生产和销售的高新技术企业,其材料和技术涵盖石墨、碳化硅、陶瓷、表面处理等领域。产品广泛应用于光伏、半导体、新能源、冶金等行业。

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