2025年のグラファイトスセプター加熱技術の進歩
2025年に培ったグラファイトスセプター誘導加熱の進歩により、半導体やエネルギーなどの業界における精密・効率・持続可能性が向上します.
How to Apply Graphite Coatings for Maximum Durability
適切なツール、表面準備、および最大限の耐久性と性能を確保するための技術を効果的にグラファイトコーティングを適用する方法を学びます.
Corrosion Resistance of SiC Coated Graphite Susceptors in Semiconductor Processes
SiC-coatedのグラファイトの感受性はNH3およびCl2からの腐食に抵抗し、半導体プロセスの耐久性、熱安定性および費用効率を保障します.
なぜTaCによって塗られるグラファイトのスセプターは高温適用のために必要です
TaC-coatedのグラファイトの感受性は高温産業適用のためにそれらを理想にする比類のない熱安定性、化学抵抗および耐久性を提供します.
半導体プロセスにおけるCVD TACコーティングの用途
CVD TaC coating offers wear resistance, thermal stability, and anti-adhesion, enhancing semiconductor tools’ durability, efficiency, and precision.
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