半導体ファブの高度なCVD SiCコーティングで装置寿命を延ばす方法
先端CVD SiCのコーティングが付いている半導体のfab装置の寿命を拡張して下さい。 優れた耐久性、汚染の低減、長期コスト削減を実現します.
高容積冶金炉の操作のための費用効果が大きいグラファイトのスセプターの設計
炉の効率を高め、耐久性を高め、均一な熱配分を高圧操作のために保障する費用効果が大きいグラファイトの感受性の設計を発見して下さい.
日: 2025年5月12日
先端CVD SiCのコーティングが付いている半導体のfab装置の寿命を拡張して下さい。 優れた耐久性、汚染の低減、長期コスト削減を実現します.
炉の効率を高め、耐久性を高め、均一な熱配分を高圧操作のために保障する費用効果が大きいグラファイトの感受性の設計を発見して下さい.
主要材料から最終応用製品までの研究開発能力を持ち、独立した知的財産権の核心および主要技術は、数多くの科学技術革新を達成している。
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