半導体ウェーハキャリア用のCVD SICコーティング
CVD SICコーティングにより、ウェーハキャリアの耐久性、純度、熱安定性が向上し、信頼できる半導体処理と汚染リスクの低下が確保されます。
業界のシリコン炭化物ノズルが利点と欠点を検討します
シリコン炭化物ノズルは高熱と耐摩耗性を提供しますが、脆くて費用がかかる場合があります。産業プロセスのニーズの長所と短所を比較検討します。
日: 2025年7月11日
CVD SICコーティングにより、ウェーハキャリアの耐久性、純度、熱安定性が向上し、信頼できる半導体処理と汚染リスクの低下が確保されます。
シリコン炭化物ノズルは高熱と耐摩耗性を提供しますが、脆くて費用がかかる場合があります。産業プロセスのニーズの長所と短所を比較検討します。
主要材料から最終応用製品までの研究開発能力を持ち、独立した知的財産権の核心および主要技術は、数多くの科学技術革新を達成している。
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