連続ウェハー・ボート

The Contiguous Wafer Boat from vet-china is designed for efficient wafer handling in semiconductor manufacturing. Engineered with precision, vet-china’s solution ensures thermal stability and chemical resistance, optimizing production processes while minimizing damage and enhancing throughput.

VET-china introduces a state-of-the-art Contiguous Wafer Boat engineered for the next generation of semiconductor manufacturing. This meticulously designed boat offers unparalleled precision in wafer handling, ensuring seamless operations and significantly reducing the risk of damage during processing.

良質の材料と造られる、Contiguousのウエファー ボートは優秀な熱安定性および例外的な化学抵抗を、高温および粗い化学環境のためにそれを理想的にします自慢します。 その革新的な設計は、ウェーハが確実に保持され、完全に整列され、スループットの最適化と製造効率の向上を保証します.

This cutting-edge ウエファーボート is tailored to meet the demanding needs of modern semiconductor fabs, supporting various wafer sizes and configurations. By incorporating the Contiguous Wafer Boat from vet-china into your production line, you can expect enhanced performance, reduced downtime, and increased yield rates.

Experience the difference with vet-china’s commitment to quality and innovation, delivering products that push the boundaries of semiconductor manufacturing. Choose the Contiguous Wafer Boat and elevate your wafer processing capabilities to new heights.

連続式ウェーハボート-3

再結晶化炭化ケイ素の特性

Recrystallizedの炭化ケイ素(R-SiC)は2000°C上の高温で形作られるダイヤモンドにだけ硬度の秒が付いている高性能材料です。 それは高温強さ、強い耐食性、優秀な酸化の抵抗、よい熱衝撃の抵抗のようなSiCの多くの優秀な特性を、等保持します.

●の優秀な機械特性。 Recrystallizedの炭化ケイ素はカーボン繊維、高い耐衝撃性より高い強さおよび剛さを、極度な温度の環境でよい性能を、再生できますいろいろな状態のよりよい均衡の性能をすることができます持っています。 また、伸張・曲げ加工により、柔軟性が良好で、性能が大幅に向上します.

● High corrosion resistance. Recrystallized silicon carbide has high corrosion resistance to a variety of media, can prevent the erosion of a variety of corrosive media, can maintain its mechanical properties for a long time, has a strong adhesion, so that it has a longer service life. In addition, it also has good thermal stability, can adapt to a certain range of temperature changes, improve its application effect.

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重力鍛錬鋼

再結晶化炭化ケイ素の物理的性質

特性/特性

典型的な値

使用温度 / Working temperature (°C)

1600°C (with oxygen), 1700°C (reducing environment)

SiC量 / SiC含有量

> 99.96%

単価無料/無料 Si コンテンツ

< 0.1%

体积密度 / Bulk density

2.60-2.70 g/cm3

公益社団法人 公益事業

< 16%

抗压强度 / Compression strength

> 600 MPa

常温抗弯强度 / Cold bending strength

80-90 MPa (20°C)

耐震度 ホット曲げ強度

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数 / Thermal expansion @1500°C

4.70 10-6/°Cの

导热系数 / Thermal conductivity @1200°C

23  W/m•K

氏の模倣の量/伸縮性がある係数

240 GPaの

反酸化性/熱衝撃の抵抗

非常に良い

VET Energy is the real manufacturer of customized graphite and silicon carbide products with CVD coating, can supply various customized parts for semiconductor and photovoltaic industry. Our technical team comes from top domestic research institutions, can provide more professional material solutions for you.

We continuously develop advanced processes to provide more advanced materials, and have worked out an exclusive patented technology, which can make the bonding between the coating and the substrate tighter and less prone to detachment.

CVD ログインツイート基礎研究

CVD SiCの基本的な物理的性質 コーティング

特性/特性

典型的な値

振動子/結晶構造

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度/密度

3.21 g/cm3

硬度/硬度

2500 氏の硬度(500gの負荷)

大 大 小

2~10μm

粒度/化学純度

99.99995%

結束/熱容量

640 J·kg-1·K-1

温度/昇華温度

2700°C

引張強さ/引張強さ

415 MPa RT 4点

氏の模倣の量/ヤングのs Modulus

430 Gpa 4ptのくねり、1300°C

导热系数 / Thermal Conductivity

300W·m-1·K-1

熱膨張(CTE)

4.5×10-6ログイン-1

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