{"id":616,"date":"2024-11-27T09:18:51","date_gmt":"2024-11-27T01:18:51","guid":{"rendered":"http:\/\/weitai1.globaldeepsea.site\/pss-icp-etch-carriers-guide\/"},"modified":"2024-11-27T09:18:51","modified_gmt":"2024-11-27T01:18:51","slug":"pss-icp%e3%82%a8%e3%83%83%e3%83%81%e3%83%b3%e3%82%b0%e3%82%ad%e3%83%a3%e3%83%aa%e3%82%a2%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.cnvetenergy.com\/ja\/pss-icp%e3%82%a8%e3%83%83%e3%83%81%e3%83%b3%e3%82%b0%e3%82%ad%e3%83%a3%e3%83%aa%e3%82%a2%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89\/","title":{"rendered":"A Comprehensive Guide to PSS\/ICP Etch Carriers in Semiconductor Manufacturing"},"content":{"rendered":"<p><\/p>\n<figure data-line=\"2\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/statics.mylandingpages.co\/static\/aaanxdmf26c522mp\/image\/0302bab1d0b348adba046e9291a7efbe.webp\" alt=\"A Comprehensive Guide to PSS\/ICP Etch Carriers in Semiconductor Manufacturing\" class=\"md-zoom\"><\/figure>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"4\">PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306e\u91cd\u8981\u306a\u30c4\u30fc\u30eb\u3068\u3057\u3066\u6a5f\u80fd\u3057\u307e\u3059\u3002 \u3053\u308c\u3089\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u4e2d\u306b\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u5f37\u529b\u306b\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3057\u3001\u7cbe\u5ea6\u3068\u4e00\u8cab\u6027\u3092\u8981\u6c42\u3059\u308b\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059\u3002 \u5b89\u5b9a\u6027\u3092\u78ba\u4fdd\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u9ad8\u54c1\u8cea\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u3068\u3063\u3066\u91cd\u8981\u306a\u6750\u6599\u9664\u53bb\u306e\u5747\u4e00\u6027\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u306e\u306b\u5f79\u7acb\u3061\u307e\u3059\u3002 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data-line=\"14\">PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u306e\u9032\u6b69\u306b\u3064\u3044\u3066\u77e5\u3063\u305f\u6ede\u5728\u306f\u3001\u6025\u901f\u306b\u9032\u5316\u3059\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u696d\u754c\u3067\u7af6\u4e89\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306b\u3068\u3063\u3066\u91cd\u8981\u306a\u3053\u3068\u3067\u3059.<\/li>\n<p><\/ul>\n<p><\/p>\n<h2 data-line=\"16\" id=\"Understanding PSS\/ICP Etching and the Role of PSS\/ICP Etch Carriers\">PSS\/ICP\u306e\u7406\u89e3 PSS\/ICP \u30a8\u30c3\u30c1\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u7372\u5f97\u3068\u5f79\u5272<\/h2>\n<p><\/p>\n<figure data-line=\"18\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/statics.mylandingpages.co\/static\/aaanxdmf26c522mp\/image\/f32dad407cba4ec58ccea6b707d8420b.webp\" alt=\"PSS\/ICP\u306e\u7406\u89e3 PSS\/ICP \u30a8\u30c3\u30c1\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u7372\u5f97\u3068\u5f79\u5272\" class=\"md-zoom\"><\/figure>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"22\" id=\"What is PSS\/ICP Etching?\">PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u3068\u306f?<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"24\" id=\"Overview of Plasma Source Silicon (PSS) etching\">\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30bd\u30fc\u30b9\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3(PSS)\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306e\u6982\u8981<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"26\">\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u5149\u6e90\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3(PSS)\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u7279\u6b8a\u306a\u52a0\u5de5\u3067\u3059\u3002 \u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u306e\u4f7f\u7528\u306b\u3088\u308a\u3001\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u6750\u6599\u3092\u9ad8\u7cbe\u5ea6\u306b\u9664\u53bb\u3057\u307e\u3059\u3002 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data-line=\"28\">\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u5927\u91cf\u751f\u7523\u306e\u4e00\u8cab\u3057\u305f\u7d50\u679c\u3092\u9054\u6210\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u3053\u306e\u6280\u8853\u306b\u4f9d\u5b58\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306f\u3001\u5404\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u304c\u9ad8\u5ea6\u306a\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u5fc5\u8981\u306a\u6b63\u78ba\u306a\u4ed5\u69d8\u3092\u6e80\u305f\u3057\u3066\u3044\u308b\u3053\u3068\u3092\u78ba\u8a8d\u3057\u307e\u3059\u3002 PSS\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306b\u3088\u308a\u3001\u30b9\u30de\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30f3\u3084\u30d1\u30bd\u30b3\u30f3\u306a\u3069\u306e\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306a\u3069\u306e\u8fd1\u4ee3\u7684\u306a\u6280\u8853\u3092\u652f\u3048\u308b\u90e8\u54c1\u3092\u751f\u7523\u3067\u304d\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"30\" id=\"Basics of Inductively Coupled Plasma (ICP) etching\">\u8a98\u5c0e\u7d50\u5408\u8840\u6f3f(ICP)\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306e\u57fa\u672c<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"32\">\u8a98\u5c0e\u30ab\u30c3\u30d7\u30eb\u30d7\u30e9\u30ba\u30de(ICP)\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u6b21\u306e\u30ec\u30d9\u30eb\u306b\u7cbe\u5ea6\u3092\u3068\u308a\u307e\u3059\u3002 \u3053\u306e\u65b9\u6cd5\u306f\u3001\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30bd\u30fc\u30b9\u3092\u4f7f\u7528\u3057\u3066\u3001\u512a\u308c\u305f\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u6027\u80fd\u3092\u5b9f\u73fe\u3057\u307e\u3059\u3002 \u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u306f\u3001\u653e\u5c04\u5468\u6ce2\u6570(RF)\u30b8\u30a7\u30cd\u30ec\u30fc\u30bf\u304c\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u3092\u4f5c\u6210\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u30b3\u30a4\u30eb\u3092\u51fa\u529b\u3059\u308b\u8a98\u5c0e\u30ab\u30c3\u30d7\u30ea\u30f3\u30b0\u6a5f\u69cb\u306b\u3088\u3063\u3066\u751f\u6210\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 \u3053\u306e\u30bb\u30c3\u30c8\u30a2\u30c3\u30d7\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u5168\u4f53\u306e\u6750\u6599\u9664\u53bb\u7387\u3068\u5747\u4e00\u6027\u3092\u542b\u3080\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3092\u9069\u5207\u306b\u5236\u5fa1\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"34\">ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306e1\u3064\u306e\u30b9\u30bf\u30f3\u30c9\u30a2\u30a6\u30c8\u6a5f\u80fd\u306f\u3001\u7e4a\u7d30\u306a\u69cb\u9020\u3092\u51e6\u7406\u3059\u308b\u80fd\u529b\u3067\u3059\u3002 \u4f8b\u3048\u3070\u3001 <strong>\u30b7\u30ea\u30a2\u30eb210IL ICP-RIE\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0<\/strong> \u30d8\u30ea\u30ab\u30eb\u30a2\u30f3\u30c6\u30ca\u30682 MHz ICP RF \u30b8\u30a7\u30cd\u30ec\u30fc\u30bf\u3092\u4f7f\u7528\u3057\u3066\u3001\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u3092\u751f\u6210\u3057\u307e\u3059\u3002 \u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u512a\u308c\u305f\u5747\u4e00\u6027\u3068\u9ad8\u3044\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u901f\u5ea6\u304c\u78ba\u4fdd\u3055\u308c\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u534a\u5c0e\u4f53\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u6700\u9069\u3067\u3059\u3002 \u305d\u306e\u3088\u3046\u306a\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306f\u3001ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u304c\u7cbe\u5ea6\u3068\u30b9\u30b1\u30fc\u30e9\u30d3\u30ea\u30c6\u30a3\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u696d\u754c\u306e\u8981\u6c42\u3092\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3059\u308b\u65b9\u6cd5\u3092\u793a\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"36\" id=\"The Role of PSS\/ICP Etch Carriers in the Process\">\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308bPSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u5f79\u5272<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"38\" id=\"Supporting wafers during etching\">\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u4e2d\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"40\">PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u5b89\u5b9a\u7684\u306a\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3044\u3066\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u3053\u308c\u3089\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u9ad8\u6e29\u304a\u3088\u3073\u8150\u98df\u6027\u306e\u74b0\u5883\u3092\u542b\u3080\u8840\u3057\u3087\u3046\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306e\u7c97\u3044\u6761\u4ef6\u306b\u6297\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u5b89\u5168\u306b\u4fdd\u6301\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u5de5\u7a0b\u4e2d\u306b\u52d5\u304d\u3084\u305a\u308c\u3092\u9632\u6b62\u3057\u307e\u3059\u3002 \u3053\u306e\u5b89\u5b9a\u6027\u306f\u3001\u7279\u306b\u8907\u96d1\u306a\u30d1\u30bf\u30fc\u30f3\u3084\u5c0f\u3055\u306a\u5e7e\u4f55\u5b66\u3092\u6271\u3046\u3068\u304d\u306b\u3001\u4e00\u8cab\u3057\u305f\u7d50\u679c\u3092\u9054\u6210\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"42\">\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u3067\u4e00\u822c\u7684\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u30d0\u30c3\u30c1\u51e6\u7406\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306f\u3001\u591a\u304f\u306e\u5834\u5408\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306b\u4f9d\u5b58\u3057\u307e\u3059\u3002 \u305f\u3068\u3048\u3070\u3001HB-LED\u306e\u88fd\u4f5c\u3067\u306f\u3001PSS\u306e\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u9ad8\u54c1\u8cea\u306e\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u91cd\u8981\u306a\u7ba1\u7406\u3055\u308c\u305fGaN\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u3092\u4fdd\u8a3c\u3057\u307e\u3059\u3002 \u5805\u7262\u306a\u8a2d\u8a08\u306b\u3088\u308a\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3078\u306e\u30c0\u30e1\u30fc\u30b8\u306e\u30ea\u30b9\u30af\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u3001\u5de5\u7a0b\u5168\u4f53\u306e\u52b9\u7387\u6027\u3092\u9ad8\u3081\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"44\" id=\"Ensuring uniformity and precision in material removal\">\u6750\u6599\u306e\u53d6\u308a\u5916\u3057\u306e\u5747\u7b49\u6027\u305d\u3057\u3066\u7cbe\u5bc6\u3092\u4fdd\u969c\u3057\u307e\u3059<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"46\">\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u5747\u4e00\u6027\u3068\u7cbe\u5ea6\u304c\u975e\u4ea4\u6e09\u53ef\u80fd\u3067\u3059\u3002 PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u8868\u9762\u3092\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u306b\u9732\u51fa\u3057\u3066\u3082\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u5074\u9762\u306b\u5927\u304d\u304f\u8ca2\u732e\u3057\u307e\u3059\u3002 \u3053\u306e\u5747\u4e00\u9732\u51fa\u306f\u4e0d\u5747\u7b49\u306a\u6750\u6599\u306e\u53d6\u308a\u5916\u3057\u3092\u3001\u6700\u7d42\u88fd\u54c1\u306b\u6b20\u9665\u304b\u4e0d\u6574\u5408\u6027\u3092\u3082\u305f\u3089\u3059\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u9632\u304e\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"48\">\u9ad8\u5ea6\u306e\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0 \u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3001\u306e\u3088\u3046\u306a <strong>Corial 360IL ICP-RIE\u306e\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0 \u30b7\u30b9\u30c6\u30e0<\/strong>\u66f4\u306b\u3053\u306e\u7cbe\u5bc6\u3092\u9ad8\u3081\u3066\u4e0b\u3055\u3044\u3002 \u3053\u308c\u3089\u306e\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306f\u3001\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u3068\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u9593\u306e\u76f8\u4e92\u4f5c\u7528\u3092\u6700\u9069\u5316\u3059\u308b\u6a5f\u80fd\u3067\u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u9ad8\u54c1\u8cea\u306e\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3068\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u308b\u3068\u3001\u73fe\u4ee3\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u8a2d\u8a08\u306e\u53b3\u683c\u306a\u8981\u4ef6\u3092\u6e80\u305f\u3059\u3001\u512a\u308c\u305f\u7d50\u679c\u304c\u5f97\u3089\u308c\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"50\">PSS\/ICP \u30a8\u30c3\u30c1\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u80fd\u529b\u3092\u9ad8\u5ea6\u306a\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u3068\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u6b21\u4e16\u4ee3\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u5fc5\u8981\u306a\u7cbe\u5ea6\u3068\u4fe1\u983c\u6027\u3092\u5b9f\u73fe\u3057\u307e\u3059\u3002 \u3053\u308c\u3089\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3057\u3066\u3044\u308b\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u5b8c\u5168\u6027\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u969b\u306b\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h2 data-line=\"52\" id=\"Benefits of Using PSS\/ICP Etch Carriers\">PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u6d3b\u7528\u30e1\u30ea\u30c3\u30c8<\/h2>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"55\" id=\"Enhanced Precision and Accuracy\">\u7cbe\u5bc6\u304a\u3088\u3073\u6b63\u78ba\u3055\u3092\u9ad8\u3081\u3066\u4e0b\u3055\u3044<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"57\" id=\"How carriers improve pattern fidelity\">\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u304c\u30d1\u30bf\u30fc\u30f3\u306e\u5fe0\u5b9f\u6027\u3092\u6539\u5584\u3059\u308b\u65b9\u6cd5<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"59\">PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u4e2d\u306b\u30d1\u30bf\u30fc\u30f3\u5fe0\u5b9f\u5ea6\u304c\u5927\u5e45\u306b\u5411\u4e0a\u3057\u307e\u3059\u3002 \u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u6240\u5b9a\u306e\u4f4d\u7f6e\u306b\u56fa\u5b9a\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u8907\u96d1\u306a\u30d1\u30bf\u30fc\u30f3\u3092\u6b6a\u3081\u308b\u3088\u3046\u306a\u4e0d\u8981\u306a\u52d5\u304d\u3092\u9632\u3050\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u3053\u306e\u5b89\u5b9a\u6027\u306f\u3001\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u304c\u610f\u56f3\u3069\u304a\u308a\u306b\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u8868\u9762\u3068\u76f8\u4e92\u4f5c\u7528\u3057\u3001\u8a2d\u8a08\u306e\u5b8c\u5168\u6027\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u78ba\u8a8d\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"61\">\u3053\u308c\u3089\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u306a\u3044\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3067\u306f\u3001\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u3078\u306e\u4e0d\u5747\u7b49\u306a\u66b4\u9732\u306b\u3088\u308b\u77db\u76fe\u304c\u3057\u3070\u3057\u3070\u767a\u751f\u3057\u307e\u3059\u3002 \u7814\u7a76\u306f\u3001PSS \/ ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306f\u3001\u7279\u306bSiC \/ Cr\u306e\u3088\u3046\u306a\u8907\u96d1\u306a\u6750\u6599\u3067\u3001\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u901f\u5ea6\u3068\u9078\u629e\u7387\u3092\u9069\u5207\u306b\u5236\u5fa1\u3059\u308b\u306b\u3064\u306a\u304c\u308b\u3053\u3068\u3092\u793a\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002 \u5148\u9032\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u5fc5\u8981\u306a\u8a73\u7d30\u306a\u69cb\u9020\u3092\u4f5c\u6210\u3059\u308b\u306b\u306f\u3001\u3053\u306e\u7cbe\u5ea6\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"63\" id=\"Reducing defects in the etching process\">\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u6b20\u9665\u3092\u6e1b\u3089\u3059<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"65\">\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u6b20\u9665\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6027\u80fd\u3092\u640d\u306a\u3046\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 PSS\/ICP \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u30a6\u30a8\u30cf\u306e\u5747\u4e00\u306a\u6750\u6599\u9664\u53bb\u3092\u78ba\u5b9f\u306b\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u30ea\u30b9\u30af\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u307e\u3059\u3002 \u9069\u5207\u306a\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u306a\u3057\u3067\u983b\u7e41\u306b\u8d77\u3053\u308b\u4e0d\u5747\u7b49\u306a\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306f\u7279\u5b9a\u306e\u533a\u57df\u306e\u904e\u5270\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u304b\u4e0b\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306e\u3088\u3046\u306a\u6b20\u9665\u3092\u3082\u305f\u3089\u3059\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"67\">\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u5805\u7262\u306a\u8a2d\u8a08\u306f\u3001\u9ad8\u6e29\u3084\u8150\u98df\u6027\u74b0\u5883\u306b\u3088\u308b\u640d\u50b7\u304b\u3089\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u4fdd\u8b77\u3057\u307e\u3059\u3002 \u3053\u306e\u4fdd\u8b77\u306f\u3001\u6b20\u9665\u306e\u53ef\u80fd\u6027\u3092\u6e1b\u3089\u3057\u3001\u3088\u308a\u9ad8\u3044\u53ce\u91cf\u3068\u3088\u308a\u826f\u3044\u54c1\u8cea\u306e\u88fd\u54c1\u3092\u3082\u305f\u3089\u3057\u307e\u3059\u3002 \u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u751f\u7523\u4e2d\u306b\u4e00\u8cab\u6027\u3092\u7dad\u6301\u3057\u3001\u5ec3\u68c4\u7269\u3092\u6e1b\u3089\u3059\u305f\u3081\u306b\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306b\u4f9d\u5b58\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"69\" id=\"Improved Efficiency and Scalability\">\u52b9\u7387\u3068\u30b9\u30b1\u30fc\u30e9\u30d3\u30ea\u30c6\u30a3\u306e\u5411\u4e0a<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"71\" id=\"Faster processing times with carriers\">\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3068\u306e\u3088\u308a\u901f\u3044\u51e6\u7406\u306e\u6642\u9593<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"73\">\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3051\u308b\u91cd\u8981\u306a\u8981\u7d20\u3067\u3059\u3002 PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3092\u5408\u7406\u5316\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u51e6\u7406\u6642\u9593\u3092\u77ed\u7e2e\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u30d0\u30c3\u30c1\u51e6\u7406\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3067\u8907\u6570\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u5b89\u5168\u306b\u4fdd\u6301\u3059\u308b\u80fd\u529b\u306b\u3088\u308a\u3001\u8907\u6570\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u540c\u6642\u306b\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u6642\u9593\u3092\u7bc0\u7d04\u3059\u308b\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u5168\u4f53\u7684\u306a\u751f\u7523\u6027\u3092\u9ad8\u3081\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"75\">\u307e\u305f\u3001ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u3082\u306e\u306a\u3069\u3001\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3068\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u4e92\u63db\u6027\u306f\u3001\u52b9\u7387\u7684\u306a\u6750\u6599\u9664\u53bb\u3092\u4fdd\u8a3c\u3057\u307e\u3059\u3002 \u9ad8\u5ea6\u306a\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u3068\u4fe1\u983c\u6027\u306e\u9ad8\u3044\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u306f\u3001\u59a5\u5354\u3059\u308b\u3053\u3068\u306a\u304f\u751f\u7523\u3092\u52a0\u901f\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"77\" id=\"Supporting high-volume manufacturing\">\u91cf\u7523\u52a0\u5de5\u652f\u63f4<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"79\">\u751f\u7523\u3092\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u30a2\u30c3\u30d7\u3057\u3001\u696d\u754c\u306e\u8981\u6c42\u306b\u5fdc\u3048\u308b\u306b\u306f\u3001\u9ad8\u7cbe\u5ea6\u3092\u72a0\u7272\u306b\u3059\u308b\u3053\u3068\u306a\u304f\u9ad8\u5bb9\u91cf\u3092\u51e6\u7406\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u30c4\u30fc\u30eb\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3059\u3002 PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3044\u3066\u4e00\u822c\u7684\u306b\u7528\u3044\u3089\u308c\u308b\u30d0\u30c3\u30c1\u51e6\u7406\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3092\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u3053\u306e\u9818\u57df\u3067\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3092\u52a0\u901f\u3002 \u3053\u308c\u3089\u306e\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306f\u3001\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u304c\u5358\u4e00\u306e\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u3067\u5927\u91cf\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u51e6\u7406\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u5927\u91cf\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u751f\u7523\u306b\u6700\u9069\u3067\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"81\">\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u8010\u4e45\u6027\u3068\u8010\u6469\u8017\u6027\u306f\u3001\u9577\u6642\u9593\u306b\u308f\u305f\u308b\u4e00\u8cab\u3057\u305f\u6027\u80fd\u3092\u4fdd\u8a3c\u3057\u307e\u3059\u3002 \u5927\u898f\u6a21\u904b\u7528\u306b\u304a\u3051\u308b\u52b9\u7387\u6027\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u306f\u3001\u3053\u306e\u4fe1\u983c\u6027\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002 \u3053\u308c\u3089\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3092\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u7d71\u5408\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u54c1\u8cea\u306e\u9ad8\u3044\u57fa\u6e96\u3092\u7dad\u6301\u3057\u306a\u304c\u3089\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u9700\u8981\u304c\u9ad8\u307e\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"83\" id=\"Compatibility with Advanced Semiconductor Designs\">\u5148\u9032\u534a\u5c0e\u4f53\u8a2d\u8a08\u3068\u306e\u4e92\u63db\u6027<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"85\" id=\"Adapting to smaller nodes and complex geometries\">\u5c0f\u3055\u306a\u30ce\u30fc\u30c9\u3068\u8907\u96d1\u306a\u5e7e\u4f55\u5b66\u3078\u306e\u9069\u5fdc<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"87\">\u534a\u5c0e\u4f53\u8a2d\u8a08\u304c\u9032\u5316\u3059\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u3088\u308a\u5c0f\u3055\u306a\u30ce\u30fc\u30c9\u3084\u8907\u96d1\u306a\u5e7e\u4f55\u5b66\u3092\u6271\u3046\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u30c4\u30fc\u30eb\u304c\u3088\u308a\u30d7\u30ec\u30b9\u3055\u308c\u308b\u3088\u3046\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002 PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u8ab2\u984c\u306b\u304a\u5fdc\u3048\u3059\u308b\u3088\u3046\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u7cbe\u5ea6\u3068\u5b89\u5b9a\u6027\u306f\u3001\u73fe\u4ee3\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3067\u898b\u3064\u304b\u3063\u305f\u5c0f\u3055\u306a\u6a5f\u80fd\u306e\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306b\u9069\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"89\">\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u80fd\u529b\u306f\u3001\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u3078\u306e\u5747\u4e00\u306a\u66b4\u9732\u3092\u78ba\u5b9f\u306b\u3059\u308b\u80fd\u529b\u306f\u3001\u8907\u96d1\u306a\u8a2d\u8a08\u3092\u6271\u3046\u3068\u304d\u306b\u7279\u306b\u6709\u76ca\u3067\u3059\u3002 \u3053\u306e\u5747\u7b49\u6027\u306f\u3001\u4e0d\u5747\u7b49\u306a\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u304b\u3089\u767a\u751f\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u306e\u3042\u308b\u30a8\u30e9\u30fc\u3092\u9632\u304e\u3001\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u304c\u9ad8\u5ea6\u306a\u6280\u8853\u306b\u5fc5\u8981\u306a\u6b63\u78ba\u306a\u4ed5\u69d8\u3092\u6e80\u305f\u3059\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3092\u751f\u6210\u3067\u304d\u308b\u3088\u3046\u306b\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"91\" id=\"Supporting next-generation semiconductor technologies\">\u6b21\u4e16\u4ee3\u534a\u5c0e\u4f53\u6280\u8853\u3092\u652f\u3048\u308b<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"93\">3D\u69cb\u9020\u3084\u5148\u9032\u30ce\u30fc\u30c9\u3001\u30c7\u30de\u30f3\u30c9\u9769\u65b0\u7684\u306a\u88fd\u9020\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306a\u3069\u306e\u6b21\u4e16\u4ee3\u534a\u5c0e\u4f53\u6280\u8853\u3002 PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u9032\u6b69\u3092\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3059\u308b\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u6700\u5148\u7aef\u306e\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3068\u306e\u4e92\u63db\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u65b0\u8208\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u5fc5\u8981\u306a\u8907\u96d1\u306a\u69cb\u9020\u3092\u4f5c\u6210\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"95\">\u305f\u3068\u3048\u3070\u3001\u7ba1\u7406\u3055\u308c\u305fGaN\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3059\u308b\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u5f79\u5272\u306f\u3001HB-LED\u3084\u4ed6\u306e\u5148\u9032\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u751f\u7523\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3042\u308b\u3053\u3068\u3092\u8a3c\u660e\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002 \u3053\u308c\u3089\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u5fc5\u8981\u306a\u5b89\u5b9a\u6027\u3068\u7cbe\u5ea6\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u696d\u754c\u306b\u304a\u3051\u308b\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u63a8\u9032\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h2 data-line=\"97\" id=\"How to Use PSS\/ICP Etch Carriers Effectively\">PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u6709\u52b9\u6d3b\u7528\u65b9\u6cd5<\/h2>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"100\" id=\"Step-by-Step Guide to Using PSS\/ICP Etch Carriers\">PSS\/ICP \u30a8\u30c3\u30c1\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3092\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u30b9\u30c6\u30c3\u30d7\u30d0\u30a4\u30b9\u30c6\u30c3\u30d7\u30ac\u30a4\u30c9<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"102\" id=\"Preparing the carrier and wafer\">\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3068\u30a6\u30a8\u30cf\u306e\u6e96\u5099<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"104\">\u9069\u5207\u306a\u6e96\u5099\u306f\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u9593\u306b\u6ed1\u3089\u304b\u306a\u64cd\u4f5c\u3092\u4fdd\u969c\u3057\u307e\u3059\u3002 \u691c\u67fb\u304b\u3089\u59cb\u3081\u308b <strong>PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2<\/strong> \u6469\u8017\u307e\u305f\u306f\u640d\u50b7\u306e\u5fb4\u5019\u306e\u305f\u3081\u3002 \u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u5b89\u5b9a\u6027\u306b\u60aa\u5f71\u97ff\u3092\u53ca\u307c\u3059\u3053\u3068\u3082\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 \u6b8b\u308a\u306e\u7c92\u5b50\u307e\u305f\u306f\u6c5a\u67d3\u7269\u8cea\u3092\u53d6\u9664\u304f\u305f\u3081\u306b\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3092\u5341\u5206\u306b\u304d\u308c\u3044\u306b\u3057\u3066\u4e0b\u3055\u3044\u3002 \u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u9732\u51fa\u6642\u306b\u4e0d\u8981\u306a\u53cd\u5fdc\u3092\u9632\u6b62\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"106\">\u6b21\u306f\u3001\u50b7\u3084\u7834\u7247\u306e\u5c0e\u5165\u3092\u907f\u3051\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u30a6\u30a8\u30cf\u3092\u614e\u91cd\u306b\u51e6\u7406\u3057\u307e\u3059\u3002 \u904b\u9001\u696d\u8005\u306b\u5b89\u5168\u306b\u914d\u7f6e\u3057\u3001\u6307\u5b9a\u3055\u308c\u305f\u30b9\u30ed\u30c3\u30c8\u307e\u305f\u306f\u6e9d\u3068\u5b8c\u5168\u306b\u6574\u5217\u3057\u307e\u3059\u3002 \u6700\u7d42\u88fd\u54c1\u306b\u4e0d\u5747\u4e00\u306a\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u3084\u6b20\u9665\u3092\u3082\u305f\u3089\u3059\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u88fd\u9020\u696d\u8005\u306f\u3001\u6c5a\u67d3\u30ea\u30b9\u30af\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u5e2f\u96fb\u9632\u6b62\u624b\u888b\u3092\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u304a\u52e7\u3081\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"108\" id=\"Setting up the etching equipment\">\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u88c5\u7f6e\u306e\u8a2d\u5b9a<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"110\">\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3068\u30a6\u30a8\u30cf\u306e\u6e96\u5099\u304c\u3067\u304d\u305f\u3089\u3001\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u88c5\u7f6e\u306b\u7126\u70b9\u3092\u5408\u308f\u305b\u307e\u3059\u3002 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u7279\u5b9a\u306e\u8981\u4ef6\u306b\u5fdc\u3058\u3066\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3092\u6821\u6b63\u3059\u308b\u3053\u3068\u304b\u3089\u59cb\u307e\u308a\u307e\u3059\u3002 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\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u304c\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306b\u4e2d\u5fc3\u306b\u306a\u3063\u3066\u3044\u3066\u3001\u642c\u9001\u81ea\u4f53\u304c\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30c1\u30e3\u30f3\u30d0\u30fc\u5185\u3067\u6b63\u3057\u304f\u914d\u7f6e\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u3053\u3068\u3092\u5e38\u306b\u78ba\u8a8d\u3057\u307e\u3059\u3002 Misalignment\u306f\u3001\u4e0d\u5747\u4e00\u306a\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u9732\u51fa\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u3001\u77db\u76fe\u3059\u308b\u6750\u6599\u9664\u53bb\u306b\u3064\u306a\u304c\u308b.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"120\">\u88c5\u7f6e\u306e\u53e3\u5f84\u6e2c\u5b9a\u306f\u7b49\u3057\u304f\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002 \u5b9a\u671f\u7684\u306b\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3092\u30c6\u30b9\u30c8\u3057\u3066\u3001\u5747\u4e00\u306a\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u5bc6\u5ea6\u3068\u4e00\u8cab\u6027\u306e\u3042\u308b\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u901f\u5ea6\u3092\u5b9f\u73fe\u3057\u307e\u3059\u3002 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\u3072\u3073\u3084\u5909\u5f62\u306a\u3069\u306e\u6469\u8017\u306e\u5146\u5019\u3092\u8abf\u3079\u3001\u5fc5\u8981\u306b\u5fdc\u3058\u3066\u4ea4\u63db\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"126\">\u88c5\u7f6e\u306e\u305f\u3081\u306b\u3001\u898f\u5247\u7684\u306a\u70b9\u691c\u3092\u30b9\u30b1\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u3059\u308c\u3070\u3059\u3079\u3066\u306e\u90e8\u54c1\u6a5f\u80fd\u304c\u304d\u3061\u3093\u3068\u4fdd\u969c\u3057\u307e\u3059\u3002 \u3053\u308c\u3089\u306f\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u8cea\u306b\u76f4\u63a5\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u308b\u306e\u3067\u3001\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u767a\u96fb\u6a5f\u304a\u3088\u3073\u30ac\u30b9\u914d\u9054\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306b\u7279\u5225\u306a\u6ce8\u610f\u3092\u6255\u3063\u3066\u4e0b\u3055\u3044\u3002 \u6700\u4e0a\u4f4d\u306e\u72b6\u614b\u306b\u3059\u3079\u3066\u3092\u4fdd\u3061\u3001\u30c0\u30a6\u30f3\u30bf\u30a4\u30e0\u3092\u6e1b\u3089\u3057\u3001\u751f\u7523\u6027\u3092\u9ad8\u3081\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"128\" id=\"Common Challenges and How to Overcome Them\">\u5171\u901a\u306e\u8ab2\u984c\u3068\u30c6\u30fc\u30de\u3092\u514b\u670d\u3059\u308b\u65b9\u6cd5<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"130\" id=\"Addressing carrier wear and tear\">\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u6469\u8017\u304a\u3088\u3073\u5f15\u304d\u88c2\u304f\u30a2\u30c9\u30ec\u30b9<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"132\">\u6642\u9593\u304c\u7d4c\u3064\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u9ad8\u6e29\u3084\u8150\u98df\u6027\u74b0\u5883\u306b\u3055\u3089\u3055\u308c\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u6469\u8017\u3084\u7834\u640d\u3092\u7d4c\u9a13\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 \u3053\u306e\u3088\u3046\u306a\u6761\u4ef6\u306b\u8010\u3048\u308b\u3088\u3046\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u305f\u8010\u4e45\u6027\u306e\u3042\u308b\u6750\u6599\u304b\u3089\u4f5c\u3089\u308c\u305f\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3092\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u3002 \u5b9a\u671f\u7684\u306a\u691c\u67fb\u306f\u3001\u65e9\u671f\u306b\u554f\u984c\u3092\u7279\u5b9a\u3057\u3001\u30bf\u30a4\u30e0\u30ea\u30fc\u306a\u4ea4\u63db\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"134\">\u9ad8\u5ea6\u306a\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u8010\u4e45\u6027\u3092\u9ad8\u3081\u308b\u9769\u65b0\u7684\u306a\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u3092\u53d6\u308a\u5165\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u4f8b\u3048\u3070\u3001\u7279\u5b9a\u306e\u30e2\u30c7\u30eb\u306f\u8150\u98df\u306b\u62b5\u6297\u3059\u308b\u69cb\u9020\u304b\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u3092\u88dc\u5f37\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002 \u9ad8\u54c1\u8cea\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3078\u306e\u6295\u8cc7\u306b\u3088\u308a\u3001\u4ea4\u63db\u983b\u5ea6\u3092\u524a\u6e1b\u3057\u3001\u4e00\u8cab\u3057\u305f\u6027\u80fd\u3092\u4fdd\u8a3c\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"136\" id=\"Troubleshooting etching inconsistencies\">\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306e\u4e00\u8cab\u6027\u306e\u30c8\u30e9\u30d6\u30eb\u30b7\u30e5\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"138\">\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u6574\u5408\u6027\u306f\u3001\u4e0d\u5747\u7b49\u306a\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u5206\u5e03\u3084\u4e0d\u9069\u5207\u306a\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30a2\u30e9\u30a4\u30e1\u30f3\u30c8\u306a\u3069\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u8981\u56e0\u304b\u3089\u767a\u751f\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 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\u3053\u308c\u3089\u306e\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u3092\u8abf\u6574\u3059\u308b\u3068\u3001\u554f\u984c\u304c\u89e3\u6c7a\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 \u3088\u308a\u8907\u96d1\u306a\u554f\u984c\u306b\u3064\u3044\u3066\u306f\u3001\u6a5f\u5668\u306e\u30de\u30cb\u30e5\u30a2\u30eb\u3092\u53c2\u7167\u3059\u308b\u304b\u3001\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u304b\u3089\u306e\u652f\u63f4\u3092\u6c42\u3081\u308b.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"142\">\u3053\u308c\u3089\u306e\u624b\u9806\u3068\u30d9\u30b9\u30c8\u30d7\u30e9\u30af\u30c6\u30a3\u30b9\u306b\u5f93\u3046\u3053\u3068\u3067\u3001\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u81ea\u5206\u306e\u6709\u52b9\u6027\u3092\u6700\u5927\u9650\u306b\u9ad8\u3081\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059 <strong>PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2<\/strong>. . \u9069\u5207\u306a\u6e96\u5099\u3001\u7dad\u6301\u304a\u3088\u3073\u30c8\u30e9\u30d6\u30eb\u30b7\u30e5\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306f\u8981\u6c42\u3059\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u9069\u7528\u3067\u4fe1\u983c\u3067\u304d\u308b\u7d50\u679c\u3001\u4fdd\u969c\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h2 data-line=\"144\" id=\"Advancements and Trends in PSS\/ICP Etching Technology\">PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u306e\u9032\u6b69\u3068\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9<\/h2>\n<p><\/p>\n<figure data-line=\"146\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/statics.mylandingpages.co\/static\/aaanxdmf26c522mp\/image\/abb020e234634496b9097f293abdc8f5.webp\" alt=\"PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u306e\u9032\u6b69\u3068\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9\" class=\"md-zoom\"><\/figure>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"150\">\u534a\u5c0e\u4f53\u696d\u754c\u3092\u5e38\u306b\u9032\u5316\u3055\u305b\u3001PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u306f\u4f8b\u5916\u3067\u306f\u3042\u308a\u307e\u305b\u3093\u3002 \u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u8a2d\u8a08\u306e\u9769\u65b0\u3001\u65b0\u8208\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3068\u306e\u7d71\u5408\u3001\u304a\u3088\u3073\u81ea\u52d5\u5316\u3068AI\u306e\u63a1\u7528\u306f\u3001\u3053\u306e\u5206\u91ce\u306e\u672a\u6765\u3092\u5f62\u4f5c\u308a\u307e\u3059\u3002 \u3053\u308c\u3089\u306e\u9032\u6b69\u3068\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u3092\u5909\u9769\u3059\u308b\u65b9\u6cd5\u3092\u898b\u3066\u307f\u307e\u3057\u3087\u3046.<\/p>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"152\" id=\"Innovations in PSS\/ICP Etch Carrier Design\">PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u306b\u304a\u3051\u308b\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"154\" id=\"Materials used in next-generation carriers\">\u6b21\u4e16\u4ee3\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u6750\u6599<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"156\">\u6b21\u4e16\u4ee3PSS\/ICP \u30a8\u30c3\u30c1\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u73fe\u4ee3\u306e\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u53b3\u3057\u3044\u8981\u6c42\u3092\u6e80\u305f\u3059\u305f\u3081\u306b\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u6750\u6599\u3067\u4f5c\u3089\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30ab\u30fc\u30d0\u30a4\u30c9(SiC)\u3084\u3001\u71b1\u62b5\u6297\u3084\u8010\u4e45\u6027\u306b\u512a\u308c\u305f\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u30b9\u306a\u3069\u306e\u6750\u6599\u3092\u4f7f\u7528\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u7279\u306bSiC\u306f\u3001\u9ad8\u6e29\u3084\u8150\u98df\u6027\u74b0\u5883\u306b\u8010\u3048\u308b\u80fd\u529b\u306b\u6ce8\u76ee\u3057\u3001\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u7528\u9014\u306b\u6700\u9069\u3067\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<blockquote data-line=\"158\"><p><\/p>\n<p data-line=\"158\"><em>\u300c\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30ab\u30fc\u30d0\u30a4\u30c9(SiC)\u306f\u3001\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u3084\u30d5\u30a9\u30c8\u30cb\u30af\u30b9\u7528\u9014\u306e\u6709\u671b\u306a\u6750\u6599\u300d<\/em> siC\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3068\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u306b\u95a2\u3059\u308b\u7814\u7a76\u3067\u5f37\u8abf\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u7cbe\u5ea6\u306e\u9ad8\u3044\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u5de5\u7a0b\u3067\u7528\u3044\u3089\u308c\u308b\u904b\u9001\u696d\u8005\u306e\u9078\u5b9a\u306b\u9069\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p><\/blockquote>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"160\">\u3053\u308c\u3089\u306e\u6750\u6599\u306f\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u5bff\u547d\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u4e2d\u306b\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u5b89\u5b9a\u6027\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u6027\u80fd\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u3002 \u6469\u8017\u304a\u3088\u3073\u5f15\u304d\u88c2\u304d\u3092\u6e1b\u3089\u3059\u3053\u3068\u306b\u3088\u3063\u3066\u3001\u305d\u308c\u3089\u306f\u5ef6\u9577\u751f\u7523\u5468\u671f\u4e0a\u306e\u4e00\u8cab\u3057\u305f\u7d50\u679c\u3092\u4fdd\u969c\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"162\" id=\"Customization for specific etching applications\">\u7279\u5b9a\u306e\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u7528\u9014\u306e\u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"164\">\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u5316\u306f\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u8a2d\u8a08\u306e\u4e3b\u50be\u5411\u306b\u306a\u308a\u307e\u3057\u305f\u3002 \u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u6df1\u3044\u53cd\u5fdc\u30a4\u30aa\u30f3\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0(DRIE)\u3084\u9ad8\u30a2\u30b9\u30da\u30af\u30c8\u30fb\u30e9\u30c6\u30a3\u30aa\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306a\u3069\u3001\u7279\u5b9a\u306e\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u7528\u9014\u306b\u9069\u3057\u305fPSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u3092\u6ce8\u6587\u3067\u304d\u308b\u3088\u3046\u306b\u306a\u308a\u307e\u3057\u305f\u3002 \u3053\u306e\u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba\u306b\u3088\u308a\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u72ec\u81ea\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u5e7e\u4f55\u5b66\u7684\u304a\u3088\u3073\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u306e\u8981\u4ef6\u306b\u5bfe\u5fdc\u3067\u304d\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"166\">\u4f8b\u3048\u3070\u3001HB-LED\u306e\u88fd\u4f5c\u7528\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u305f\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u5236\u5fa1\u3055\u308c\u305fGaN\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u4e2d\u306b\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u5b89\u5168\u306b\u4fdd\u6301\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u7279\u6b8a\u306a\u6e9d\u3084\u30b9\u30ed\u30c3\u30c8\u3092\u5099\u3048\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u7cbe\u5bc6\u5316\u3092\u5b9f\u73fe\u3057\u3001\u6b20\u9665\u306e\u30ea\u30b9\u30af\u3092\u4f4e\u6e1b\u3057\u3001\u7279\u5b9a\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u6700\u9069\u306a\u7d50\u679c\u3092\u4fdd\u8a3c\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"168\" id=\"Integration with Emerging Semiconductor Processes\">\u65b0\u8208\u534a\u5c0e\u4f53\u3068\u306e\u7d71\u5408 \u30d7\u30ed\u30bb\u30b9<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"170\" id=\"Compatibility with 3D structures and advanced nodes\">3D\u69cb\u9020\u3068\u9ad8\u5ea6\u306a\u30ce\u30fc\u30c9\u3068\u306e\u4e92\u63db\u6027<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"172\">\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u304c\u3088\u308a\u8907\u96d1\u306b\u306a\u308b\u305f\u3081\u30013D\u69cb\u9020\u3084\u9ad8\u5ea6\u306a\u30ce\u30fc\u30c9\u3092\u6271\u3046\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u5fc5\u8981\u6027\u304c\u9ad8\u307e\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 PSS\/ICP \u30a8\u30c3\u30c1\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u3059\u3079\u3066\u306e\u8868\u9762\u306b\u5747\u4e00\u306a\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u9732\u51fa\u3092\u78ba\u4fdd\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u30d5\u30a3\u30f3\u30d5\u30a7\u30c3\u30c4\u30843D NAND\u306a\u3069\u306e\u8907\u96d1\u306a\u8a2d\u8a08\u3092\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3057\u307e\u3057\u305f.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"174\">\u3053\u308c\u3089\u306e\u30c1\u30e3\u30ec\u30f3\u30b8\u30f3\u30b0\u306a\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3067\u7cbe\u5ea6\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u80fd\u529b\u306f\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308b\u3002 \u30a2\u30c9\u30d0\u30f3\u30b9\u30c8\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u6b21\u4e16\u4ee3\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6a5f\u80fd\u6027\u3092\u640d\u306a\u3046\u3053\u3068\u306a\u304f\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u3092\u9632\u3050\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u3053\u306e\u4e92\u63db\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u54c1\u8cea\u3092\u72a0\u7272\u306b\u3059\u308b\u3053\u3068\u306a\u304f\u3001\u6700\u5148\u7aef\u6280\u8853\u306e\u8981\u6c42\u3092\u6e80\u305f\u3059\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"176\" id=\"Role in enabling new device architectures\">\u65b0\u3057\u3044\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u3092\u6709\u52b9\u306b\u3059\u308b\u5f79\u5272<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"178\">PSS\/ICP\u306e\u7279\u9577 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u65b0\u3057\u3044\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u3092\u6709\u52b9\u306b\u3057\u3066\u3001\u30d4\u30dc\u30bf\u30eb\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u4e2d\u306b\u5b89\u5b9a\u3057\u305f\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u534a\u5c0e\u4f53\u6280\u8853\u306e\u5883\u754c\u7dda\u3092\u30d7\u30c3\u30b7\u30e5\u3059\u308b\u9769\u65b0\u7684\u306a\u8a2d\u8a08\u3092\u4f5c\u6210\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u305f\u3068\u3048\u3070\u3001SiC\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u88fd\u9020\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u3001\u96fb\u529b\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u3084\u30d5\u30a9\u30c8\u30cb\u30af\u30b9\u7528\u306e\u9ad8\u6027\u80fd\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u4f5c\u6210\u3092\u5bb9\u6613\u306b\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"180\">\u9ad8\u5ea6\u306a\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3092\u5099\u3048\u305f\u3053\u308c\u3089\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306e\u7d71\u5408\u306b\u3088\u308a\u3001\u6700\u3082\u8907\u96d1\u306a\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u304c\u7cbe\u5ea6\u3067\u751f\u6210\u3067\u304d\u308b\u3053\u3068\u3092\u78ba\u8a8d\u3057\u307e\u3059\u3002 \u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u52a0\u901f\u3057\u3001\u753b\u671f\u7684\u306a\u6280\u8853\u958b\u767a\u3092\u652f\u63f4\u3057\u307e\u3059.<\/p>\n<p><\/p>\n<h3 data-line=\"182\" id=\"Automation and AI in Etching Processes\">\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u30aa\u30fc\u30c8\u30e1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3068AI<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4 data-line=\"184\" id=\"Smart carriers with integrated sensors\">\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u5185\u8535\u306e\u30b9\u30de\u30fc\u30c8\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2<\/h4>\n<p><\/p>\n<p data-line=\"186\">\u30aa\u30fc\u30c8\u30e1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u696d\u754c\u306b\u9769\u547d\u3092\u3082\u305f\u3089\u3057\u3001PSS\/ICP\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u306f\u4f8b\u5916\u3067\u306f\u3042\u308a\u307e\u305b\u3093\u3002 \u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u3092\u5185\u8535\u3057\u305f\u30b9\u30de\u30fc\u30c8\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u304c\u5e02\u5834\u306b\u53c2\u5165 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