수직 열 웨이퍼 배 Pedestal는 웨이퍼 안정성, 정밀도 및 정렬을 강화하여 반도체 효율성을 향상시킵니다.
Contiguous Wafer Boat는 효율성 향상, 비용 절감, 정확한 웨이퍼 처리량을 통해 생산성 향상을 통해 반도체 생산을 향상시킵니다.
TaC 코팅은 흑연 성분의 내구성, 마모 및 부식 감소, 따라서 가혹한 산업 환경에 있는 그들의 서비스 기간을 확장합니다.
TaC coatings outperform SiC in single crystal growth with superior thermal resistance, chemical stability, and mechanical strength, enhancing SiC coating efficiency.
RTP/RTA를 위한 SiC 코팅 운반대는 내구성, 열 안정성 및 오염을 강화하고, 고품질 반도체 생산을 지키는 칩을 밀어줍니다.
주요 재료의 R & D 기능으로 응용 제품, 독립적 인 지적 재산권의 핵심 및 핵심 기술은 과학 및 기술 혁신의 수를 달성했습니다.