반도체 Fab에서 고급 CVD SiC 코팅으로 장비 수명을 확장하는 방법
고급 CVD SiC 코팅을 가진 반도체 fab 장비 수명을 확장하십시오. 우수한 내구성, 감소된 오염 및 장기 비용 절감.
2025-05-12
고급 CVD SiC 코팅을 가진 반도체 fab 장비 수명을 확장하십시오. 우수한 내구성, 감소된 오염 및 장기 비용 절감.
로 효율성을 높일 수 있는 비용 효과적인 흑연 susceptor 디자인을 발견하고, 내구성을 강화하고, 높 부피 가동을 위한 획일한 열 배급을 지킵니다.
EPI susceptors는 획일한 열 배급 및 물자 질을 지키기에 의하여 epitaxial 성장 효율성을 개량하고, 결함 자유로운 5G 칩 생산을 가능하게 합니다.
주문을 받아서 만들어진 SiC 코팅 솔루션 제공 항공 우주 OEM 일치 열 저항, 내구성, 및 정밀도, 극한 조건에서 최적의 성능을 보장합니다.
CVD(주) 사이트맵 코팅은 열 분산을 개량하고, 뜨거운 반점을 방지하고, 가동 수명을 연장해서 광전지 세포에 있는 열 관리를 강화합니다.
반도체 공정을 위한 graphite susceptor와 EPI susceptor를 비교하십시오. 열 성능, 비용 효율 및 공정 호환성에 대해 알아보세요.
Tic-Tac 코팅은 합성을 위한 우량한 내구성, 경량 보호 및 열 안정성을, outperforming 전통적인 metallization 기술을 제안합니다.
Ultra-dense TaC 코팅은 가스 침투성을 감소시키는 진공 체계에 있는 오염을 방지하고, 화학 비활성을 지키고, 극단적인 온도를 저항합니다.
Ultra-dense TaC 코팅은 outgassing를 감소시키고, 내구성을 강화하고, 긴요한 환경에 있는 화학물질 불능을 지키는 진공 약실에 있는 오염을 막습니다.
주요 재료의 R & D 기능으로 응용 제품, 독립적 인 지적 재산권의 핵심 및 핵심 기술은 과학 및 기술 혁신의 수를 달성했습니다.
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