반도체 Fab에서 고급 CVD SiC 코팅으로 장비 수명을 확장하는 방법
고급 CVD SiC 코팅을 가진 반도체 fab 장비 수명을 확장하십시오. 우수한 내구성, 감소된 오염 및 장기 비용 절감.
고용량 Metallurgical 로 가동을 위한 Cost-Effective 흑연 Susceptor 디자인
로 효율성을 높일 수 있는 비용 효과적인 흑연 susceptor 디자인을 발견하고, 내구성을 강화하고, 높 부피 가동을 위한 획일한 열 배급을 지킵니다.
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