SiC Coated Graphite Base Carriers

Краткое описание:

VET Energy SiC coated graphite carrier is a high-performance product designed to provide consistent and reliable performance over an extended period. It has super good heat resistance and thermal uniformity, high purity, erosion resistance, making it the perfect solution for wafer processing applications.

Place of Origin :
Китай
Crystal Structure :
FCCβ phase
Density :
3.21 g/cm
Hardness :
2500 Vickers
Grain Size :
2 ~ 10 мкм
Chemical Purity :
99.99995%
Heat Capacity :
640J·kg-1·K-1
Sublimation Temperature :
2700℃
Felexural Strength :
415 Mpa (RT 4-Point)
Young’ s Modulus :
430 Gpa (4pt bend, 1300℃)
Thermal Expansion (C.T.E) :
4.5 10-6K-1
Thermal conductivity :
300（W/MK）

SiC coated graphite carrier is a key component used in various semiconductor manufacturing processes. We use our patented technology to make the silicon carbide carrier with extremely high purity, good coating uniformity and an excellent service life, as well as high chemical resistance and thermal stability properties.

Features of our products:

1. High temperature oxidation resistance up to 1700℃.
2. High purity and thermal uniformity
3. Excellent corrosion resistance: acid, alkali, salt and organic reagents.
4. High hardness, compact surface, fine particles.
5. Longer service life and more durable

Сердечно -сосудистый СияниеCОсновные физические свойства фильмов Основные физические свойства сердечно -сосудистых заболеваний покрытие
Природа / собственность	Типичное значение
Кристаллическая структура	FCC β -фаза полицисталлическая, в основном (111) ориентация
Плотность/плотность	3.21 г/см=
Твердость/твердость	2500 Vickers Твердость (нагрузка 500 г)
Размер зерна	2 ~ 10 мкм
Чистота / химическая чистота	99.99995%
Теплоемкость	640 J · кг^-1·K^-1
Температура сублимации / температура сублимации	2700℃
Прочность на гибкость	415 МПа RT 4-очка
Модуль Янга	430 GPA 4PT Bend, 1300℃
Теплопроводность	300 Вт · м^-1·K^-1
Тепловое расширение (Cte)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy is the real manufacturer of customized graphite and silicon carbide products with different coatings like SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, etc., can supply various customized parts for semiconductor and photovoltaic industry.

Our technical team comes from top domestic research institutions, can provide more professional material solutions for you.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для предоставления более продвинутых материалов, и мы разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более жесткой и менее подверженной отрешению.

Приглашаем вас посетить нашу фабрику, давайте проведем дальнейшее обсуждение!