China Manufacturer SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

Purity < 5ppm
‣ Good doping uniformity
‣ High density and adhesion
‣ Good anti-corrosive and carbon resistence

‣ Professional customization
‣ Short lead time
‣ Stable supply
‣ Quality control and continual improvement

Epitaxy of GaN on Sapphire (RGB/Mini/Micro LED);
Epitaxy of GaN on Si Substrate(UVC);
Epitaxy of GaN on Si Substrate(Electronical Device);
Epitaxy of Si on Si Substrate(Integrated circuit);
Epitaxy of SiC on SiC Substrate (Substrate);
Epitaxy of InP on InP

High quality MOCVD Susceptor Buy online in China

A wafer needs to pass through several steps before it is ready for use in electronic devices. One important process is silicon epitaxy, in which the wafers are carried on graphite susceptors. The properties and quality of the susceptors have a crucial effect on the quality of the wafer’s epitaxial layer.

For thin film deposition phases such as epitaxy or MOCVD, VET supplies ultra-pure graphiteequipment used to support substrates or “wafers”. At the core of the process, this equipment, epitaxy susceptors or satellite platforms for the MOCVD, are first subjected to the deposition environment:

High temperature.
High vacuum.
Use of aggressive gaseous precursors.
Zero contamination, absence of peeling.
Resistance to strong acids during cleaning operations

VET Energy is the real manufacturer of customized graphite and silicon carbide products with coating for semiconductor and photovoltaic industry. Our technical team comes from top domestic research institutions, can provide more professional material solutions for you.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для предоставления более продвинутых материалов, и мы разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более жесткой и менее подверженной отрешению.

Features of our products:

1. High temperature oxidation resistance up to 1700℃.
2. High purity and thermal uniformity
3. Excellent corrosion resistance: acid, alkali, salt and organic reagents.
4. High hardness, compact surface, fine particles.
5. Longer service life and more durable

Сердечно -сосудистый СияниеCОсновные физические свойства фильмов Основные физические свойства сердечно -сосудистых заболеваний покрытие
Природа / собственность	Типичное значение
Кристаллическая структура	FCC β -фаза полицисталлическая, в основном (111) ориентация
Плотность/плотность	3.21 г/см=
Твердость/твердость	2500 Vickers Твердость (нагрузка 500 г)
Размер зерна	2 ~ 10 мкм
Чистота / химическая чистота	99.99995%
Теплоемкость	640 J · кг^-1·K^-1
Температура сублимации / температура сублимации	2700℃
Прочность на гибкость	415 МПа RT 4-очка
Модуль Янга	430 GPA 4PT Bend, 1300℃
Теплопроводность	300 Вт · м^-1·K^-1
Тепловое расширение (Cte)	4.5×10^-6K^-1

Приглашаем вас посетить нашу фабрику, давайте проведем дальнейшее обсуждение!

Быстрый контакт

Компания

Услуги

Благодаря возможности НИОКР от ключевых материалов до окончания прикладных продуктов, основные и ключевые технологии независимых прав интеллектуальной собственности достигли ряда научных и технологических инноваций.

Связаться

Russian

China Manufacturer SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

Быстрый контакт

Компания

Услуги

Связаться

С нетерпением жду вашего контакта с нами

Давай поговорим