Основная задача: 1600°C и выше Для выращивания высококачественных эпитаксиальных слоев на 8-дюймовых пластинах требуется химически инертная и термически безупречная среда. Любое незначительное отклонение поверхности токоприемника или теплопроводности может привести к фатальным дефектам пластины.
В Ветек Полупроводник , мы усовершенствовали наши CVD-покрытие SiC и TaC (карбид тантала) технологии, отвечающие этим конкретным строгим стандартам:
Точное геометрическое масштабирование: Мы гарантируем, что структурный дизайн и технологические требования для наших 8-дюймовых датчиков полностью соответствуют проверенным 4-дюймовым и 6-дюймовым конструкциям, что обеспечивает плавный переход к массовому производству.
Сверхвысокая чистота: Наши базовые материалы строго поддерживаются на уровне примесей. ниже 5 частей на миллион , обеспечивая нулевое загрязнение во время чувствительного процесса эпи-роста.
Преимущество покрытия TaC: Для еще более сложных условий эксплуатации (выше 2000°C) наши покрытия из карбида тантала обеспечивают превосходную защиту от водородной эрозии, значительно продлевая срок службы графитовых компонентов.
Техническое партнерство для долгосрочной выгоды Для совершенства производства в 2026 году потребуется больше, чем просто поставщик; для этого требуется партнер-консультант, который понимает физику материала. Мы уделяем особое внимание предоставлению технических решений, которые повышают производительность и сокращают время простоев для наших глобальных партнеров.
Работаете ли вы с MOCVD, эпитаксия SiC или ионная имплантация Наша цель — предоставить материальную основу, которая позволит воплотить в жизнь проекты ваших чипов следующего поколения.
Подключитесь для получения технических характеристик: Подробные спецификации материалов, поперечные сечения SEM и оценки индивидуальных чертежей доступны по запросу.
