Краткое описание:
VET Energy является профессиональным производителем, поставщиком и экспортером эпитаксиальных токоприемников с эпиграфитовыми цилиндрами. У нас есть сильная команда исследований и разработок и собственные запатентованные технологии, позволяющие предоставлять клиентам высококачественные и современные материалы. Мы приглашаем вас посетить наш завод для дальнейшего обсуждения.
Эпитаксиальный эпиграфитовый цилиндрический токоприемник
Эпитаксиальный эпиграфитовый бочкообразный токоприемник — это специально разработанное поддерживающее и нагревательное устройство, используемое для удержания и нагрева полупроводниковых подложек во время производственных процессов, таких как процессы осаждения или эпитаксии.
Его структура обычно цилиндрическая или слегка бочкообразная, поверхность имеет множество карманов или площадок для размещения пластин, может быть сплошной или полой в зависимости от способа нагрева.
Основные функции эпитаксиального бочкообразного токоприемника:
-Поддержка подложки: надежно удерживает несколько полупроводниковых пластин;
-Источник тепла: обеспечивает высокие температуры, необходимые для роста, за счет нагрева;
-Равномерность температуры: обеспечивает равномерный нагрев подложек;
-Вращение: обычно вращается во время роста для улучшения равномерности распределения температуры и газа.
Принцип работы графитового бочкообразного токоприемника Epi:
– В эпитаксиальном реакторе цилиндрический токоприемник нагревается до необходимой температуры (обычно 1000–1200 ℃ для эпитаксии кремния);
-Ствол-приемник вращается, обеспечивая равномерное распределение температуры и потока газа;
-Реакционные газы разлагаются при высоких температурах, образуя эпитаксиальные слои на поверхности подложки.
Приложения:
-В основном используется для эпитаксиального выращивания кремния.
-Также применимо для эпитаксии других полупроводниковых материалов, таких как GaAs, InP и т. д.
VET Energy использует графит высокой чистоты с покрытием CVD-SiC для повышения химической стабильности.:
Преимущества эпитаксиального эпиграфитового бочкообразного сенсептора VET Energy:
-Высокая температурная стабильность;
-Хорошая термическая однородность;
-Может обрабатывать несколько материалов одновременно, повышая эффективность производства;
-Химически инертен, поддерживает высокую чистоту среды роста.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd - высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, материалов и технологий, включая графит, карбид кремния, керамику, обработку поверхности, такую как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д., эти продукты широко используются в фотоэлектрической, полупроводниковой, новой энергетике, металлургии и т. д.
Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных исследовательских институтов и разработала множество запатентованных технологий для обеспечения производительности и качества продукции, а также может предоставить клиентам профессиональные решения в области материалов.
Мы тепло приветствуем вас посетить нашу лабораторию и завод для технического обсуждения и сотрудничества!
Благодаря возможностям исследований и разработок, от ключевых материалов до продуктов конечного применения, основные и ключевые технологии независимых прав интеллектуальной собственности достигли ряда научных и технологических инноваций.
