Носитель покрытия VET Energy SiC для RTP/RTA — это высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.
Карбид кремния — это современный керамический материал с превосходными свойствами, такими как высокая прочность, твердость, термостойкость, теплопроводность и стойкость к химической коррозии. Он широко используется в таких отраслях, как добыча нефти, химическая, машиностроительная, аэрокосмическая, атомная энергетика и военное применение. Мы можем предоставить индивидуальные конструкции для таких применений, как уплотнительные кольца, клапаны и защитная броня, с высоким качеством и разумными сроками поставки.
Носитель покрытия SiC для RTP/RTA является ключевым компонентом, используемым в процессах производства полупроводников, называемых быстрой термической обработкой и отжигом. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления носителя из карбида кремния с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и отличным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термостабильностью.


Особенности нашей продукции:
1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700 ℃.
2. Высокая чистота и термическая однородность.
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и долговечность.

VET Energy — производитель, специализирующийся на изготовлении индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, включая SiC, TaC, стеклоуглерод и пироуглерод. Мы поставляем индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. При поддержке экспертов из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов мы предлагаем профессиональные решения в области материалов и запатентованные технологии для создания более прочных и долговечных покрытий.


Благодаря возможностям исследований и разработок, от ключевых материалов до продуктов конечного применения, основные и ключевые технологии независимых прав интеллектуальной собственности достигли ряда научных и технологических инноваций.