Носитель покрытия SiC Для RTP/RTA — ключевого компонента, используемого в процессах производства полупроводников, называемых быстрой термической обработкой и отжигом. Мы используем нашу запатентованную технологию, чтобы сделать носитель из карбида кремния чрезвычайно высокой чистоты, хорошей однородностью покрытия и отличным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термостабильностью.
Особенности нашей продукции:
1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700 ℃.
2. Высокая чистота и термическая однородность.
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и долговечность.
ССЗ Си C Основные физические свойства пленок Основные физические свойства CVD SiC покрытие | |
Природа/Собственность | Типичное значение/типичное значение |
Кристаллическая структура/кристаллическая структура | Поликристаллическая β-фаза ГЦК, преимущественно (111) ориентации. |
Плотность/Плотность | 3,21 г/см³ |
Твердость/Твердость | Твердость 2500 по Виккерсу (загрузка 500 г) |
Размер зерна/Размер зерна | 2~10 мкм |
Чистота/Химическая чистота | 99.99995% |
Теплоемкость/Теплоемкость | 640 Дж·кг -1 ·K -1 |
Температура сублимации/Температура сублимации | 2700℃ |
изгибная прочность | 415 МПа РТ 4-точечный |
Модуль Юнга | 430 ГПа, 4-точечный изгиб, 1300℃ |
Теплопроводность/Теплопроводность | 300 Вт·м -1 ·K -1 |
Коэффициент теплового расширения/теплового расширения (КТР) | 4,5×10 -6 K -1 |
VET Energy является реальным производителем изделий из графита и карбида кремния по индивидуальному заказу с различными покрытиями, такими как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д., и может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.
Наша техническая команда из ведущих отечественных исследовательских институтов может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.
Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для создания более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее склонной к отслоению.
Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!
Благодаря возможностям исследований и разработок, от ключевых материалов до продуктов конечного применения, основные и ключевые технологии независимых прав интеллектуальной собственности достигли ряда научных и технологических инноваций.
