VET Energy TaC Coated Graphite Upper Halfmoon Manufacturer is a high-performance product designed to provide consistent and reliable performance over an extended period. It has super good heat resistance and thermal uniformity, high purity, erosion resistance, making it the perfect solution for wafer processing applications.
TaC涂层是一种采用物理气相沉积技术制备的碳化钽(TaC)涂层,具有以下特点:
1. 高硬度:TaC涂层硬度高,通常可达2500-3000HV,是一种优良的硬质涂层。
2. 耐磨性:TaC涂层具有很强的耐磨性,可以有效减少机械零件在使用过程中的磨损和损坏。
3. 耐高温性能好:TaC涂层在高温环境下也能保持其优异的性能。
4. 良好的化学稳定性:TaC涂层具有良好的化学稳定性,能够抵抗许多化学反应,如酸和碱。


碳化钽涂层物理特性物理特性 TaC涂层的物理性能 | |
密度 / Density | 14.3 (克/立方厘米) |
比辐射率 / Specific emissivity | 0.3 |
热 膨胀系数/ Thermal expansion coefficient | 6.3 10 -6 /K |
努氏硬度 / Hardness (HK) | 2000年香港 |
电阻 / Resistance | 1× 10⁻⁵ 欧姆·厘米 |
热 稳定性/ Thermal stability | <2500℃ |
石墨尺寸变化/ Graphite size changes | -10~-20微米 |
涂层厚度 / Coating thickness | ≥20μm 典型值(35μm±10μm) |
Благодаря возможности НИОКР от ключевых материалов до окончания прикладных продуктов, основные и ключевые технологии независимых прав интеллектуальной собственности достигли ряда научных и технологических инноваций.