Краткое описание:
The Vertical Column Wafer Boat & Pedestal from vet-china offers superior stability and precision in wafer handling for semiconductor manufacturing. With vet-china’s advanced design, this system ensures optimal alignment and secure retention, enhancing operational efficiency and reducing wafer damage.
VET-china presents the innovative Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, a comprehensive solution for advanced semiconductor processing. Designed with meticulous precision, this wafer handling system provides unmatched stability and alignment, crucial for high-efficiency manufacturing environments.
The Vertical Column Wafer Boat & Pedestal is constructed with premium materials that guarantee thermal stability and resistance to chemical corrosion, making it suitable for the most demanding semiconductor fabrication processes. Its unique vertical column design supports wafers securely, reducing the risk of misalignment and potential damage during transport and processing.
With the integration of vet-china’s Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, semiconductor manufacturers can expect improved throughput, minimized downtime, and increased product yield. This system is compatible with various wafer sizes and configurations, offering flexibility and scalability for different production needs.
vet-china’s commitment to excellence ensures that each Vertical Column Wafer Boat & Pedestal meets the highest standards of quality and performance. By choosing this cutting-edge solution, you invest in a future-proof approach to wafer handling that maximizes efficiency and reliability in semiconductor manufacturing.

Свойства перекристаллизованного карбида кремния
Recrystallized silicon carbide (R-SiC) is a high-performance material with hardness second only to diamond, which is formed at a high temperature above 2000℃. It retains many excellent properties of SiC, such as high temperature strength, strong corrosion resistance, excellent oxidation resistance, good thermal shock resistance and so on.
● Отличные механические свойства. Перекристаллизованный кремниевый карбид имеет более высокую прочность и жесткость, чем углеродное волокно, с высокой ударной сопротивлением, может воспроизводить хорошие результаты в условиях экстремальных температур, может сыграть лучшие характеристики уравновешивания в различных ситуациях. Кроме того, он также обладает хорошей гибкостью и не легко поврежден путем растяжения и изгиба, что значительно улучшает его производительность.
● Высокая коррозионная стойкость. Перекристаллизованный кремниевый карбид обладает высокой коррозионной устойчивостью к различным средам, может предотвратить эрозию различных коррозионных сред, может долго сохранять свои механические свойства, имеет сильную адгезию, чтобы у него более длительный срок службы. Кроме того, он также обладает хорошей тепловой стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону изменений температуры, улучшить эффект применения.
● Спекание не сокращается. Поскольку процесс спекания не сокращается, никакое остаточное напряжение не приведет к деформации или растрескиванию продукта, а детали со сложными формами и высокой точностью можно получить.
Физические свойства перекристаллизованного карбида кремния Физические свойства перекристаллизованного карбида кремния | |
Природа / собственность | Типичное значение |
使用温度 / Working temperature (°C) | 1600°C (with oxygen), 1700°C (reducing environment) |
Содержание SIC/SIC Content | > 99.96% |
Бесплатный контент SI/ бесплатный контент SI | < 0.1% |
体积密度 / Bulk density | 2.60-2.70 g/cm3 |
Пористость/кажущаяся пористость | < 16% |
抗压强度 / Compression strength | > 600 MPa |
常温抗弯强度 / Cold bending strength | 80-90 MPa (20°C) |
Высокая температурная прочность на изгиб | 90-100 MPa (1400°C) |
热膨胀系数 / Thermal expansion @1500°C | 4.70 10-6/°C |
导热系数 / Thermal conductivity @1200°C | 23 W/m•K |
Модуль Янга/модуль упругости | 240 GPA |
Устойчивость к тепловым ударам | Очень хорошо |
VET Energy is the real manufacturer of customized graphite and silicon carbide products with CVD coating, can supply various customized parts for semiconductor and photovoltaic industry. Our technical team comes from top domestic research institutions, can provide more professional material solutions for you.
We continuously develop advanced processes to provide more advanced materials, and have worked out an exclusive patented technology, which can make the bonding between the coating and the substrate tighter and less prone to detachment.
Сердечно -сосудистый СияниеCОсновные физические свойства фильмов Основные физические свойства сердечно -сосудистых заболеваний покрытие | |
Природа / собственность | Типичное значение |
Кристаллическая структура | FCC β phase 多晶,主要为(111)取向 |
Плотность/плотность | 3.21 g/cm³ |
Твердость/твердость | 2500 Vickers Твердость (нагрузка 500 г) |
Размер зерна | 2~10μm |
Чистота / химическая чистота | 99.99995% |
Теплоемкость | 640 J·kg-1·K-1 |
Температура сублимации / температура сублимации | 2700℃ |
Прочность на гибкость | 415 МПа RT 4-очка |
Модуль Янга | 430 GPA 4PT Bend, 1300℃ |
导热系数 / Thermal Conductivity | 300W·m-1·K-1 |
Тепловое расширение (Cte) | 4.5×10-6K-1 |
Приглашаем вас посетить нашу фабрику, давайте проведем дальнейшее обсуждение!
Благодаря возможности НИОКР от ключевых материалов до окончания прикладных продуктов, основные и ключевые технологии независимых прав интеллектуальной собственности достигли ряда научных и технологических инноваций.