Vertical Column Wafer Boat & Pedestal

Краткое описание:

The Vertical Column Wafer Boat & Pedestal from vet-china offers superior stability and precision in wafer handling for semiconductor manufacturing. With vet-china’s advanced design, this system ensures optimal alignment and secure retention, enhancing operational efficiency and reducing wafer damage.

vet-china presents the innovative Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, a comprehensive solution for advanced semiconductor processing. Designed with meticulous precision, this wafer handling system provides unmatched stability and alignment, crucial for high-efficiency manufacturing environments.

The Vertical Column Wafer Boat & Pedestal is constructed with premium materials that guarantee thermal stability and resistance to chemical corrosion, making it suitable for the most demanding semiconductor fabrication processes. Its unique vertical column design supports wafers securely, reducing the risk of misalignment and potential damage during transport and processing.

With the integration of vet-china’s Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, semiconductor manufacturers can expect improved throughput, minimized downtime, and increased product yield. This system is compatible with various wafer sizes and configurations, offering flexibility and scalability for different production needs.

vet-china’s commitment to excellence ensures that each Vertical Column Wafer Boat & Pedestal meets the highest standards of quality and performance. By choosing this cutting-edge solution, you invest in a future-proof approach to wafer handling that maximizes efficiency and reliability in semiconductor manufacturing.

Vertical Column Wafer Boat & Pedestal

Свойства перекристаллизованного карбида кремния

Рекристаллизованный кремниевый карбид (R-SIC) представляет собой высокопроизводительный материал с твердостью, вторым только алмазом, который образуется при высокой температуре выше 2000 года. Он сохраняет много превосходных свойств SIC, таких как высокая прочность на высокую температуру, сильная коррозионная стойкость, превосходная устойчивость к окислению, хорошая устойчивость к тепловым ударам и так далее.

● Отличные механические свойства. Перекристаллизованный кремниевый карбид имеет более высокую прочность и жесткость, чем углеродное волокно, с высокой ударной сопротивлением, может воспроизводить хорошие результаты в условиях экстремальных температур, может сыграть лучшие характеристики уравновешивания в различных ситуациях. Кроме того, он также обладает хорошей гибкостью и не легко поврежден путем растяжения и изгиба, что значительно улучшает его производительность.

● Высокая коррозионная стойкость. Перекристаллизованный кремниевый карбид обладает высокой коррозионной устойчивостью к различным средам, может предотвратить эрозию различных коррозионных сред, может долго сохранять свои механические свойства, имеет сильную адгезию, чтобы у него более длительный срок службы. Кроме того, он также обладает хорошей тепловой стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону изменений температуры, улучшить эффект применения.

● Спекание не сокращается. Поскольку процесс спекания не сокращается, никакое остаточное напряжение не приведет к деформации или растрескиванию продукта, а детали со сложными формами и высокой точностью можно получить.

Физические свойства перекристаллизованного карбида кремния

Физические свойства перекристаллизованного карбида кремния

Природа / собственность

Типичное значение

Рабочая температура (° C.)

1600 ° C (с кислородом), 1700 ° C (восстановительная среда)

Содержание SIC/SIC Content

> 99.96%

Бесплатный контент SI/ бесплатный контент SI

< 0.1%

Объемная плотность

2.60-2,70 г/см3

Пористость/кажущаяся пористость

< 16%

Прочность на сжатие/прочность сжатия

> 600 МПа

Прочность на холодную изгиб при комнатной температуре

80-90 МПа (20 ° C.)

Высокая температурная прочность на изгиб

90-100 МПа (1400 ° C.)

Коэффициент термического расширения / термическое расширение при 1500 ° C

4.70 10-6/° C.

Теплопроводность / теплопроводность при 1200 ° C

23 Вт/м • К.

Модуль Янга/модуль упругости

240 GPA

Устойчивость к тепловым ударам

Очень хорошо

Vet Energy является настоящим производителем индивидуальных графитовых и кремниевых карбида с CVD -покрытием, может предоставить различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда происходит от ведущих внутренних исследовательских учреждений, может предоставить вам более профессиональные материальные решения.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для предоставления более продвинутых материалов, и мы разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более жесткой и менее подверженной отрешению.

Сердечно -сосудистый СияниеCОсновные физические свойства фильмов

Основные физические свойства сердечно -сосудистых заболеваний покрытие

Природа / собственность

Типичное значение

Кристаллическая структура

FCC β -фаза полицисталлическая, в основном (111) ориентация

Плотность/плотность

3.21 г/см=

Твердость/твердость

2500 Vickers Твердость (нагрузка 500 г)

Размер зерна

2 ~ 10 мкм

Чистота / химическая чистота

99.99995%

Теплоемкость

640 J · кг-1·K-1

Температура сублимации / температура сублимации

2700℃

Прочность на гибкость

415 МПа RT 4-очка

Модуль Янга

430 GPA 4PT Bend, 1300℃

Теплопроводность

300 Вт · м-1·K-1

Тепловое расширение (Cte)

4.5×10-6K-1

1

2

Приглашаем вас посетить нашу фабрику, давайте проведем дальнейшее обсуждение!

Команда исследований и разработок

 

Производственное оборудование

 

Клиенты компании

ru_RURussian

С нетерпением жду вашего контакта с нами

Давай поговорим