Краткое описание:
Лодка и подставка для вафель с вертикальной колонной от vet-china обеспечивают превосходную стабильность и точность при обращении с пластинами для производства полупроводников. Благодаря передовой конструкции vet-china эта система обеспечивает оптимальное выравнивание и надежную фиксацию, повышая эффективность работы и уменьшая повреждение пластин.
VET-china представляет инновационную лодочку и пьедестал с вертикальной колонной, комплексное решение для передовой обработки полупроводников. Разработанная с высочайшей точностью, эта система перемещения пластин обеспечивает непревзойденную стабильность и выравнивание, что крайне важно для высокоэффективных производственных сред.
Вертикальная колонна Вафельная Лодочка & Пьедестал изготовлен из высококачественных материалов, которые гарантируют термическую стабильность и стойкость к химической коррозии, что делает его пригодным для самых требовательных процессов производства полупроводников. Его уникальная конструкция с вертикальной колонной надежно удерживает пластины, снижая риск смещения и потенциального повреждения во время транспортировки и обработки.
Благодаря интеграции вертикальной колонны Wafer Boat & Pedestal от vet-china производители полупроводников могут рассчитывать на повышение производительности, минимизацию времени простоя и увеличение выхода продукции. Эта система совместима с пластинами различных размеров и конфигураций, обеспечивая гибкость и масштабируемость для различных производственных потребностей.
Стремление vet-china к совершенству гарантирует, что каждая вафельная лодка и постамент с вертикальной колонной соответствуют самым высоким стандартам качества и производительности. Выбирая это передовое решение, вы инвестируете в перспективный подход к работе с пластинами, который максимизирует эффективность и надежность в производстве полупроводников.
Свойства рекристаллизованного карбида кремния
Рекристаллизованный карбид кремния (R-SiC) — высокопроизводительный материал, твердость которого уступает только алмазу, который образуется при высокой температуре выше 2000 ℃. Он сохраняет многие превосходные свойства SiC, такие как устойчивость к высоким температурам, сильная коррозионная стойкость, отличная стойкость к окислению, хорошая стойкость к термическому удару и так далее.
● Отличные механические свойства. Рекристаллизованный карбид кремния имеет более высокую прочность и жесткость, чем углеродное волокно, высокую ударопрочность, может хорошо работать в условиях экстремальных температур, может показывать лучшие характеристики противовеса в различных ситуациях. Кроме того, он также обладает хорошей гибкостью и его нелегко повредить при растяжении и изгибе, что значительно улучшает его характеристики.
● Высокая коррозионная стойкость. Рекристаллизованный карбид кремния обладает высокой коррозионной стойкостью к различным средам, может предотвращать эрозию различных агрессивных сред, сохранять свои механические свойства в течение длительного времени, обладает сильной адгезией, что обеспечивает более длительный срок службы. Кроме того, он также обладает хорошей термической стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону изменений температуры, улучшая эффект от применения.
● Спекание не дает усадки. Поскольку процесс спекания не дает усадки, никакое остаточное напряжение не приведет к деформации или растрескиванию изделия, и можно изготавливать детали сложной формы и высокой точности.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Природа/Собственность | Типичное значение/типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
Содержание SiC/содержание SiC | > 99.96% |
Содержимое свободного Si/Содержимое свободного Si | < 0.1% |
Насыпная плотность / Насыпная плотность | 2,60-2,70 г/см 3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Прочность на сжатие/прочность на сжатие | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Коэффициент теплового расширения / Тепловое расширение при 1500°C | 4.70 10 -6 /°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль Юнга/Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару / Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |
VET Energy является настоящим производителем изделий из графита и карбида кремния по индивидуальному заказу. CVD-покрытие , может поставлять различные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности по индивидуальному заказу. Наша техническая команда из ведущих отечественных исследовательских институтов может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.
Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для создания более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее склонной к отслоению.
ССЗ Си C Основные физические свойства пленок Основные физические свойства CVD SiC покрытие | |
Природа/Собственность | Типичное значение/типичное значение |
Кристаллическая структура/Кристаллическая структура | Поликристаллическая β-фаза ГЦК, преимущественно (111) ориентации. |
Плотность/Плотность | 3,21 г/см³ |
Твердость/Твердость | Твердость 2500 по Виккерсу (загрузка 500 г) |
Размер зерна/Размер зерна | 2~10 мкм |
Чистота/Химическая чистота | 99.99995% |
Теплоемкость/Теплоемкость | 640 Дж·кг -1 ·K -1 |
Температура сублимации/Температура сублимации | 2700℃ |
изгибная прочность | 415 МПа РТ 4-точечный |
Модуль Юнга | 430 ГПа, 4-точечный изгиб, 1300℃ |
Теплопроводность/Теплопроводность | 300 Вт·м -1 ·K -1 |
Коэффициент теплового расширения/теплового расширения (КТР) | 4,5×10 -6 K -1 |
Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!
Благодаря возможностям исследований и разработок, от ключевых материалов до продуктов конечного применения, основные и ключевые технологии независимых прав интеллектуальной собственности достигли ряда научных и технологических инноваций.
