Kurze Beschreibung:
Die Vertikalsäule Wafer Boat & Pedestal von vet-china bietet eine hervorragende Stabilität und Präzision im Waferhandling für die Halbleiterfertigung. Mit dem fortschrittlichen Design von vet-china sorgt dieses System für eine optimale Ausrichtung und sichere Aufbewahrung, die Steigerung der Betriebseffizienz und die Reduzierung von Waferschäden.
vet-china präsentiert die innovative Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, eine umfassende Lösung für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. Mit sorgfältiger Präzision konzipiert, bietet dieses Wafer-Handling-System eine unübertroffene Stabilität und Ausrichtung, entscheidend für hocheffiziente Fertigungsumgebungen.
Das Vertikal Column Wafer Boat & Pedestal ist mit hochwertigen Materialien gebaut, die thermische Stabilität und Beständigkeit gegen chemische Korrosion garantieren, so dass es für die anspruchsvollsten Halbleiterfertigungsprozesse geeignet ist. Sein einzigartiges vertikales Spaltendesign unterstützt Wafer sicher und reduziert das Risiko von Fehlausrichtung und potenziellen Schäden während des Transports und der Verarbeitung.
Mit der Integration von Vet-chinas Vertikale Spalte Wafer Boot & Pedestal können Halbleiterhersteller einen verbesserten Durchsatz, eine minimierte Ausfallzeit und eine erhöhte Produktausbeute erwarten. Dieses System ist mit verschiedenen Wafergrößen und Konfigurationen kompatibel und bietet Flexibilität und Skalierbarkeit für unterschiedliche Produktionsanforderungen.
das Engagement von vet-china für Exzellenz sorgt dafür, dass jeder Vertical Column Wafer Boat & Pedestal den höchsten Qualitäts- und Leistungsstandards entspricht. Durch die Wahl dieser hochmodernen Lösung investieren Sie in einen zukunftssicheren Umgang mit Wafer, der Effizienz und Zuverlässigkeit in der Halbleiterfertigung maximiert.
Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid
Rekristallisiertes Siliciumcarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungsmaterial, das in seiner Härte nur von Diamant übertroffen wird und bei einer hohen Temperatur von über 2000 °C entsteht. Es behält viele hervorragende Eigenschaften von SiC bei, z. B. hohe Temperaturbeständigkeit, starke Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Oxidationsbeständigkeit, gute Temperaturwechselbeständigkeit usw.
● Ausgezeichnete mechanische Eigenschaften. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlefaser, eine hohe Schlagzähigkeit, kann eine gute Leistung in extremen Temperaturumgebungen spielen, kann eine bessere Ausgleichsleistung in einer Vielzahl von Situationen spielen. Darüber hinaus hat es auch eine gute Flexibilität und wird nicht leicht durch Dehnung und Biegung beschädigt, was seine Leistung erheblich verbessert.
● Hohe Korrosionsbeständigkeit. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber einer Vielzahl von Medien, kann die Erosion einer Vielzahl von korrosiven Medien verhindern, kann seine mechanischen Eigenschaften für eine lange Zeit beibehalten, hat eine starke Haftung, so dass es eine längere Lebensdauer hat. Darüber hinaus verfügt es über eine gute thermische Stabilität, kann sich an einen bestimmten Bereich von Temperaturänderungen anpassen und seine Anwendungswirkung verbessern.
● Sintern schrumpft nicht. Da der Sinterprozess nicht schrumpft, verursachen keine Eigenspannungen Verformungen oder Risse im Produkt, und es können Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision hergestellt werden.
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重结晶碳化硅物理特性 Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid |
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性质 / Eigentum |
典型数值 / Typischer Wert |
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使用温度 / Arbeitstemperatur (°C) |
1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung) |
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SiC含量 / SiC-Gehalt |
> 99,96% |
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自由Si含量 / Kostenloser Si-Inhalt |
< 0,1% |
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体积密度 / Schüttdichte |
2,60-2,70 g/cm3 |
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气孔率 / Offensichtliche Porosität |
< 16% |
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抗压强度 / Druckfestigkeit |
> 600 MPa |
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常温抗弯强度 / Kaltbiegefestigkeit |
80-90 MPa (20°C) |
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高温抗弯强度 Heißbiegefestigkeit |
90-100 MPa (1400°C) |
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热膨胀系数 / Wärmeausdehnung @1500°C |
4.70 10-6/°C |
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导热系数 / Wärmeleitfähigkeit @1200°C |
23 W/m-K |
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杨氏模量 / Elastizitätsmodul |
240 GPa |
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抗热震性 / Temperaturwechselbeständigkeit |
Äußerst gut |
VET Energy ist ein echter Hersteller von kundenspezifischen Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung und kann verschiedene kundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie liefern. Unser technisches Team kommt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen professionelle Materiallösungen anbieten.
Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Verfahren, um noch fortschrittlichere Materialien anbieten zu können, und haben eine exklusive, patentierte Technologie entwickelt, mit der die Bindung zwischen der Beschichtung und dem Substrat fester und weniger anfällig für Ablösungen ist.
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CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiC Beschichtung |
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性质 / Eigentum |
典型数值 / Typischer Wert |
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晶体结构 / Kristallstruktur |
FCC β-Phase 多晶，主要为（111）取向 |
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密度 / Dichte |
3,21 g/cm³ |
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硬度 / Härte |
2500 维氏硬度（500g Last） |
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晶粒大小 / Grain SiZe |
2~10μm |
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纯度 / Chemische Reinheit |
99.99995% |
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热容 / Wärmekapazität |
640 J-kg-1-K-1 |
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升华温度 / Sublimationstemperatur |
2700℃ |
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抗弯强度 / Biegefestigkeit |
415 MPa RT 4-Punkt |
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杨氏模量 / Elastizitätsmodul |
430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃ |
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导热系数 / Wärmeleitfähigkeit |
300W-m-1-K-1 |
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热膨胀系数 / Wärmeausdehnung(CTE) |
4.5×10-6K-1 |
Wir laden Sie herzlich ein, unser Werk zu besuchen und mit uns zu diskutieren!
Mit Forschungs- und Entwicklungskapazitäten von Schlüsselmaterialien bis hin zu Endprodukten haben die Kern- und Schlüsseltechnologien unabhängiger geistiger Eigentumsrechte eine Reihe von wissenschaftlichen und technologischen Innovationen hervorgebracht.
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