VET Energy半月形零件采用碳化钽涂层，是一款高性能产品，旨在长期提供稳定可靠的性能。它具有优异的耐热性和热均匀性、高纯度和抗腐蚀性，是晶圆加工应用的理想之选。
TaC涂层是一种 采用物理气相沉积技术制备的碳化钽（TaC）涂层 ，具有以下特点：
1. 高硬度： TaC涂层 硬度高，通常可达2500-3000HV，是一种优良的硬质涂层。
2. 耐磨性： TaC涂层 具有很强的耐磨性，可以有效减少机械零件在使用过程中的磨损和损坏。
3. 耐高温性能好：TaC涂层在高温环境下也能保持其优异的性能。
4. 良好的化学稳定性：TaC涂层具有良好的化学稳定性，能够抵抗许多化学反应，如酸和碱。
Características físicas del revestimiento de carburo tantalum TaC涂层的物理性能 | |
densidad / Densidad | 14.3 (克/立方厘米) |
Tasa de radiación específica / Emisividad específica | 0.3 |
热 膨胀系数/ Thermal expansion coefficient | 6.3 10 -6 /K |
Dureza de las nueces / Dureza (HK) | 2000年香港 |
resistencia / Resistencia | 1× 10⁻⁵ 欧姆·厘米 |
热 稳定性/ Thermal stability | <2500℃ |
石墨尺寸变化/ Graphite size changes | -10~-20微米 |
Espesor de revestimiento / Espesor de revestimiento | ≥20μm 典型值（35μm±10μm） |
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