短い記述:
The Vertical Column Wafer Boat & Pedestal from vet-china offers superior stability and precision in wafer handling for semiconductor manufacturing. With vet-china’s advanced design, this system ensures optimal alignment and secure retention, enhancing operational efficiency and reducing wafer damage.
VET-china presents the innovative Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, a comprehensive solution for advanced semiconductor processing. Designed with meticulous precision, this wafer handling system provides unmatched stability and alignment, crucial for high-efficiency manufacturing environments.
The Vertical Column ウェーハボート & Pedestal is constructed with premium materials that guarantee thermal stability and resistance to chemical corrosion, making it suitable for the most demanding semiconductor fabrication processes. Its unique vertical column design supports wafers securely, reducing the risk of misalignment and potential damage during transport and processing.
With the integration of vet-china’s Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, semiconductor manufacturers can expect improved throughput, minimized downtime, and increased product yield. This system is compatible with various wafer sizes and configurations, offering flexibility and scalability for different production needs.
vet-china’s commitment to excellence ensures that each Vertical Column Wafer Boat & Pedestal meets the highest standards of quality and performance. By choosing this cutting-edge solution, you invest in a future-proof approach to wafer handling that maximizes efficiency and reliability in semiconductor manufacturing.
再結晶化炭化ケイ素の特性
Recrystallized silicon carbide (R-SiC) is a high-performance material with hardness second only to diamond, which is formed at a high temperature above 2000℃. It retains many excellent properties of SiC, such as high temperature strength, strong corrosion resistance, excellent oxidation resistance, good thermal shock resistance and so on.
●の優秀な機械特性。 Recrystallizedの炭化ケイ素はカーボン繊維、高い耐衝撃性より高い強さおよび剛さを、極度な温度の環境でよい性能を、再生できますいろいろな状態のよりよい均衡の性能をすることができます持っています。 また、伸張・曲げ加工により、柔軟性が良好で、性能が大幅に向上します.
●の高い耐食性。 Recrystallizedの炭化ケイ素はいろいろな媒体に、さまざまな腐食性媒体の腐食を防ぐことができます、長い時間のための機械特性を維持できます、強い付着を、それ持っていますより長い耐用年数をあります。 加えて、それにまたよい熱安定性が、ある特定の範囲の温度変化に合わせ、適用効果を改善できますあります.
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重力鍛錬鋼 再結晶化炭化ケイ素の物理的性質 | |
特性/特性 | 典型的な値 |
使用温度 / Working temperature (°C) | 1600°C (with oxygen), 1700°C (reducing environment) |
SiC量 / SiC含有量 | > 99.96% |
単価無料/無料 Si コンテンツ | < 0.1% |
体积密度 / Bulk density | 2.60-2.70 g/cm3 |
公益社団法人 公益事業 | < 16% |
抗压强度 / Compression strength | > 600 MPa |
常温抗弯强度 / Cold bending strength | 80-90 MPa (20°C) |
耐震度 ホット曲げ強度 | 90-100 MPa (1400°C) |
热膨胀系数 / Thermal expansion @1500°C | 4.70 10-6/°Cの |
导热系数 / Thermal conductivity @1200°C | 23 W/m•K |
氏の模倣の量/伸縮性がある係数 | 240 GPaの |
反酸化性/熱衝撃の抵抗 | 非常に良い |
VET Energy is the real manufacturer of customized graphite and silicon carbide products with CVDコーティング, can supply various customized parts for semiconductor and photovoltaic industry. Our technical team comes from top domestic research institutions, can provide more professional material solutions for you.
We continuously develop advanced processes to provide more advanced materials, and have worked out an exclusive patented technology, which can make the bonding between the coating and the substrate tighter and less prone to detachment.
CVD ログインツイート基礎研究 CVD SiCの基本的な物理的性質 コーティング | |
特性/特性 | 典型的な値 |
振動子/結晶構造 | FCC β phase 多晶，主要为（111）取向 |
密度/密度 | 3.21 g/cm3 |
硬度/硬度 | 2500 氏の硬度(500gの負荷) |
大 大 小 | 2~10μm |
粒度/化学純度 | 99.99995% |
結束/熱容量 | 640 J·kg-1·K-1 |
温度/昇華温度 | 2700°C |
引張強さ/引張強さ | 415 MPa RT 4点 |
氏の模倣の量/ヤングのs Modulus | 430 Gpa 4ptのくねり、1300°C |
导热系数 / Thermal Conductivity | 300W·m-1·K-1 |
熱膨張(CTE) | 4.5×10-6ログイン-1 |
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主要材料から最終応用製品までの研究開発能力を持ち、独立した知的財産権の核心および主要技術は、数多くの科学技術革新を達成している。
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