RTP/RTA のための SiC コーティング キャリアは急速な熱処理及びアニールと呼ばれる半導体の製造プロセスで使用される主要なコンポーネントです、私達は非常に高い純度、よいコーティングの均等性および優秀な耐用年数、また高い化学抵抗および熱安定性の特性が付いている炭化ケイ素のキャリアを作るために私達の特許を取られた技術を使用します.
私達のプロダクトの特徴:
1。 1700°Cまでの高温酸化抵抗.
2。 高い純度および熱均等性
3。 優秀な耐食性:酸、アルカリ、塩および有機性試薬.
4。 高い硬度、密集した表面、良い粒子.
5。 より長い耐用年数および耐久
CVD ログインツイート基礎研究 CVD SiCの基本的な物理的性質 コーティング | |
特性/特性 | 典型的な値 |
振動子/結晶構造 | FCC β 相 晶 多, 主 人 (111) 取 方 |
密度/密度 | 3.21 g/cm3 |
硬度/硬度 | 2500 氏の硬度(500gの負荷) |
大 大 小 | 2~10μm |
粒度/化学純度 | 99.99995% |
結束/熱容量 | 640 J・kg-1・K-1 |
温度/昇華温度 | 2700°C |
引張強さ/引張強さ | 415 MPa RT 4点 |
氏の模倣の量/ヤングのs Modulus | 430 Gpa 4ptのくねり、1300°C |
导热系数/熱伝導率 | 300W・m-1・K-1 |
熱膨張(CTE) | 4.5×10-6ログイン-1 |
VETシリーズ エネルギーはSiCのコーティング、TaCのコーティング、ガラス繊維のカーボン コーティング、pyrolyticカーボン コーティング、等のような別のコーティングが付いているカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素プロダクトの実質の製造業者、半導体および光起電工業のためのさまざまなカスタマイズされた部品を供給できますです.
私達の技術的なチームは一流の国内研究所から、あなたのためのより多くの専門材料の解決を提供してもいいです来ます.
高度な材料を継続的に開発し、独自の特許技術を開発し、コーティングと基材の緊密で、剥離への負担を軽減することができます.
工場見学をお待ちしております!
主要材料から最終応用製品までの研究開発能力を持ち、独立した知的財産権の核心および主要技術は、数多くの科学技術革新を達成している。
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