Vertical Column Wafer Boat & Pedestal

짧은 묘사:

The Vertical Column Wafer Boat & Pedestal from vet-china offers superior stability and precision in wafer handling for semiconductor manufacturing. With vet-china’s advanced design, this system ensures optimal alignment and secure retention, enhancing operational efficiency and reducing wafer damage.

VET-china presents the innovative Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, a comprehensive solution for advanced semiconductor processing. Designed with meticulous precision, this wafer handling system provides unmatched stability and alignment, crucial for high-efficiency manufacturing environments.

The Vertical Column 웨이퍼 배 & Pedestal is constructed with premium materials that guarantee thermal stability and resistance to chemical corrosion, making it suitable for the most demanding semiconductor fabrication processes. Its unique vertical column design supports wafers securely, reducing the risk of misalignment and potential damage during transport and processing.

With the integration of vet-china’s Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, semiconductor manufacturers can expect improved throughput, minimized downtime, and increased product yield. This system is compatible with various wafer sizes and configurations, offering flexibility and scalability for different production needs.

vet-china’s commitment to excellence ensures that each Vertical Column Wafer Boat & Pedestal meets the highest standards of quality and performance. By choosing this cutting-edge solution, you invest in a future-proof approach to wafer handling that maximizes efficiency and reliability in semiconductor manufacturing.

Vertical Column Wafer Boat & Pedestal

Recrystallized 실리콘 카바이드의 특성

Recrystallized silicon carbide (R-SiC) is a high-performance material with hardness second only to diamond, which is formed at a high temperature above 2000℃. It retains many excellent properties of SiC, such as high temperature strength, strong corrosion resistance, excellent oxidation resistance, good thermal shock resistance and so on.

● 우수한 기계적 성질. Recrystallized 실리콘 탄화물에는 탄소 섬유, 고 영향도 저항 보다는 더 높은 힘 및 뻣뻣함, 극단적인 온도 환경에 있는 좋은 성과를 할 수 있습니다, 다양한 상황에서 더 나은 카운터밸런스 성과를 할 수 있습니다. 또한, 그것은 또한 좋은 융통성이 있고 매우 그것의 성과를 개량하는 기지개하고 구부리기에 의해 쉽게 손상되지 않습니다.

● 높은 내식성. Recrystallized 실리콘 탄화물에는 다양한 매체에 높은 내식성이 있습니다, 부식성 매체의 부식을 방지할 수 있습니다, 장시간을 위한 그것의 기계적 성질을 유지할 수 있습니다, 강한 접착이 있습니다, 그래서 더 긴 서비스 기간이 있습니다. 또한, 그것에는 또한 좋은 열 안정성이, 온도 변화의 특정 범위에 적응할 수 있고, 그것의 신청 효력을 개량합니다.

· 소결은 수축하지 않습니다. 소결 과정이 수축하지 않기 때문에, 잔여 긴장은 제품의 개악 또는 부수기 일으키는 원인이 되고, 복잡한 모양과 높은 정밀도를 가진 부속은 준비될 수 있습니다.

重结晶碳化硅物理特性

Recrystallized 실리콘 카바이드의 물리적 특성

/ 재산

/ 일반 값

使用温度 / Working temperature (°C)

1600°C (with oxygen), 1700°C (reducing environment)

SiC / / SiC 내용

> 99.96%

自由 / 무료 Si 내용

크기: 0.1%

体积密度 / Bulk density

2.60-2.70 g/cm3

/ 투명성

< 16%

抗压强度 / Compression strength

> 600 MPa

常温抗弯强度 / Cold bending strength

80-90 MPa (20°C)

₢ 킹 핫 굽힘 강도

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数 / Thermal expansion @1500°C

4.70 10-6·°C

导热系数 / Thermal conductivity @1200°C

23  W/m•K

/ 탄성 계수

240 개

/ 열충격 저항

매우 좋은

VET Energy is the real manufacturer of customized graphite and silicon carbide products with CVD 코팅, can supply various customized parts for semiconductor and photovoltaic industry. Our technical team comes from top domestic research institutions, can provide more professional material solutions for you.

We continuously develop advanced processes to provide more advanced materials, and have worked out an exclusive patented technology, which can make the bonding between the coating and the substrate tighter and less prone to detachment.

· CVD (주)·薄膜基本物理性能

CVD SiC의 기본 물리적 특성 제품정보

/ 재산

/ 일반 값

COIN体结构 / 크리스탈 구조

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

☸ / 밀도

3.21의 g/cm3

/ 경도

2500 2500 (500g 짐)

大大小 / 곡물 SiZe

2~10μm

/화학 순수성

99.99995%

/ 열용량

640 J·kg-1·K-1

/ 승화 온도

파장: 2700nm

/ 굽힘 강도

415 MPa RT 4 점

s / 영의 조수

430 Gpa 4pt 굴곡, 1300°C

导热系数 / Thermal Conductivity

300W·m-1·K-1

/ 열팽창(CTE)

4.5×10-6·-1

1

2

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