Descrição curta:
VET Energy SiC coated graphite carrier is a high-performance product designed to provide consistent and reliable performance over an extended period. It has super good heat resistance and thermal uniformity, high purity, erosion resistance, making it the perfect solution for wafer processing applications.
Local de origem :
China
Estrutura de Cristal :
FCCβ phase
Densidade:
3.21 g/cm
Dureza:
2500 Vickers
Tamanho do grão:
2~10μm
Pureza química:
99.99995%
Capacidade térmica:
640J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimação:
2700°C
Força Felexural:
415 Mpa (RT 4-Point)
Young’ s Modulus :
430 Gpa (4pt bend, 1300℃)
Expansão térmica (CTE):
4.5 10-6K-1
Thermal conductivity :
300（W/MK）
SiC coated graphite carrier is a key component used in various semiconductor manufacturing processes. We use our patented technology to make the silicon carbide carrier with extremely high purity, good coating uniformity and an excellent service life, as well as high chemical resistance and thermal stability properties.
Características dos nossos produtos:
1. Resistência à oxidação a alta temperatura até 1700°C.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácido, álcali, sal e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Vida útil mais longa e mais durável
DCV SiCO que é isto Propriedades físicas básicas da DCV SiC revestimento | |
Propriedades | Valor típico |
Estrutura de cristal | Fase FCC β |
Densidade | 3,21 g/cm3 |
& Dureza | 2500 (carga de 500g) |
Size de grão | 2~10μm |
Pureza Química | 99.99995% |
Capacidade de calor | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura de sublimação | 2700°C |
Força Flexural | 415 MPa RT 4 pontos |
Modulo de Young | 430 Gpa 4pt curva, 1300°C |
Condutividade térmica | 300W·m-1·K-1 |
Expansão térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy is the real manufacturer of customized graphite and silicon carbide products with different coatings like SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, etc., can supply various customized parts for semiconductor and photovoltaic industry.
Our technical team comes from top domestic research institutions, can provide more professional material solutions for you.
Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados, e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais apertado e menos propenso ao descolamento.
Bem-vindo calorosamente para visitar nossa fábrica, vamos ter mais discussão!
Com capacidades de I & D, desde materiais-chave até produtos de aplicação finais, as tecnologias fundamentais e fundamentais dos direitos de propriedade intelectual independentes alcançaram uma série de inovações científicas e tecnológicas.
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