Breve descrição:
O suporte de grafite revestido com SiC da VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.
Local de Origem :
China
Estrutura Cristalina :
Fase FCCβ
Densidade :
3,21g/cm
Dureza :
2500 Vickers
Tamanho do grão :
2~10μm
Pureza Química :
99.99995%
Capacidade de calor :
640J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação :
2700℃
Força Felexural :
415 Mpa (RT 4 pontos)
Módulo de Young :
430 Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300 ℃)
Expansão Térmica (CTE) :
4,5 10-6K-1
Condutividade térmica :
300（W/MK）
O transportador de grafite revestido com SiC é um componente chave usado em vários processos de fabricação de semicondutores. Usamos nossa tecnologia patenteada para fabricar o suporte de carboneto de silício com pureza extremamente alta, boa uniformidade de revestimento e excelente vida útil, além de alta resistência química e propriedades de estabilidade térmica.
Características dos nossos produtos:
1. Resistência à oxidação em altas temperaturas de até 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e mais durável
DCV Si C Propriedades físicas básicas de filmes Propriedades físicas básicas do CVD SiC revestimento | |
Natureza/Propriedade | Valor Típico/Valor Típico |
Estrutura Cristalina/Estrutura Cristalina | FCC fase β policristalina, orientação principalmente (111) |
Densidade/Densidade | 3,21g/cm³ |
Dureza/Dureza | Dureza Vickers 2500 (carga de 500g) |
Tamanho do grão/Tamanho do grão | 2~10μm |
Pureza/Pureza Química | 99.99995% |
Capacidade térmica/capacidade térmica | 640 J·kg -1 ·K -1 |
Temperatura de Sublimação/Temperatura de Sublimação | 2700℃ |
Resistência à Flexão | 415 MPa RT de 4 pontos |
Módulo de Young | Curvatura de 430 Gpa 4 pontos, 1300℃ |
Condutividade Térmica/Condutividade Térmica | 300W·m -1 ·K -1 |
Coeficiente de Expansão Térmica/Expansão Térmica (CTE) | 4,5×10 -6 K -1 |
VET Energy é o verdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com diferentes revestimentos, como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer várias peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.
Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.
Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa a descolamento.
Damos boas-vindas a você para visitar nossa fábrica, vamos discutir mais!
Com capacidades de P&D desde materiais-chave até produtos de aplicação final, as principais e principais tecnologias de direitos de propriedade intelectual independentes alcançaram uma série de inovações científicas e tecnológicas.
