Breve descrição:
O barco e pedestal de wafer de coluna vertical da vet-china oferece estabilidade e precisão superiores no manuseio de wafer para fabricação de semicondutores. Com o design avançado da vet-china, este sistema garante alinhamento ideal e retenção segura, aumentando a eficiência operacional e reduzindo danos ao wafer.
A VET-china apresenta o inovador Barco Wafer e Pedestal de Coluna Vertical, uma solução abrangente para processamento avançado de semicondutores. Projetado com precisão meticulosa, esse sistema de manuseio de wafer oferece estabilidade e alinhamento incomparáveis, cruciais para ambientes de fabricação de alta eficiência.
A coluna vertical Barco de wafer & O pedestal é construído com materiais premium que garantem estabilidade térmica e resistência à corrosão química, tornando-o adequado para os mais exigentes processos de fabricação de semicondutores. Seu design exclusivo de coluna vertical suporta wafers com segurança, reduzindo o risco de desalinhamento e possíveis danos durante o transporte e processamento.
Com a integração do barco e pedestal de wafer de coluna vertical da vet-china, os fabricantes de semicondutores podem esperar melhor rendimento, tempo de inatividade minimizado e maior rendimento do produto. Este sistema é compatível com vários tamanhos e configurações de wafer, oferecendo flexibilidade e escalabilidade para diferentes necessidades de produção.
O compromisso da vet-china com a excelência garante que cada barco e pedestal de wafer de coluna vertical atenda aos mais altos padrões de qualidade e desempenho. Ao escolher esta solução de ponta, você investe em uma abordagem preparada para o futuro para o manuseio de wafers que maximiza a eficiência e a confiabilidade na fabricação de semicondutores.
Propriedades do carboneto de silício recristalizado
Carboneto de silício recristalizado (R-SiC) é um material de alto desempenho com dureza inferior apenas ao diamante, que é formado em altas temperaturas acima de 2.000 ℃. Ele retém muitas propriedades excelentes do SiC, como resistência a altas temperaturas, forte resistência à corrosão, excelente resistência à oxidação, boa resistência ao choque térmico e assim por diante.
● Excelentes propriedades mecânicas. O carboneto de silício recristalizado tem maior resistência e rigidez do que a fibra de carbono, alta resistência ao impacto, pode desempenhar um bom desempenho em ambientes de temperaturas extremas e pode desempenhar um melhor desempenho de contrapeso em uma variedade de situações. Além disso, também possui boa flexibilidade e não se danifica facilmente por alongamento e flexão, o que melhora muito seu desempenho.
● Alta resistência à corrosão. O carboneto de silício recristalizado tem alta resistência à corrosão em uma variedade de meios, pode prevenir a erosão de uma variedade de meios corrosivos, pode manter suas propriedades mecânicas por um longo tempo, tem uma forte adesão, de modo que tem uma vida útil mais longa. Além disso, também possui boa estabilidade térmica, pode se adaptar a uma determinada faixa de mudanças de temperatura, melhorando seu efeito de aplicação.
● A sinterização não encolhe. Como o processo de sinterização não encolhe, nenhuma tensão residual causará deformação ou rachadura no produto, e peças com formatos complexos e alta precisão podem ser preparadas.
Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado | |
Natureza/Propriedade | Valor Típico/Valor Típico |
Temperatura de trabalho (°C) | 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente) |
Conteúdo SiC/conteúdo SiC | > 99.96% |
Conteúdo Si grátis/Conteúdo Si grátis | < 0.1% |
Densidade aparente / Densidade aparente | 2,60-2,70g/cm 3 |
Porosidade aparente | < 16% |
Resistência à compressão/Resistência à compressão | > 600MPa |
Resistência à flexão a frio | 80-90MPa (20°C) |
Resistência à flexão a quente | 90-100MPa (1400°C) |
Coeficiente de expansão térmica / Expansão térmica @1500°C | 4.70 10 -6 /°C |
Condutividade térmica @1200°C | 23 W/m·K |
Módulo de Young/Módulo de elasticidade | 240 GPa |
Resistência ao choque térmico/Resistência ao choque térmico | Extremamente bom |
VET Energy é o verdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com Revestimento CVD , pode fornecer várias peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica. Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.
Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa a descolamento.
DCV Si C Propriedades físicas básicas de filmes Propriedades físicas básicas do CVD SiC revestimento | |
Natureza/Propriedade | Valor Típico/Valor Típico |
Estrutura Cristalina/Estrutura Cristalina | FCC fase β policristalina, orientação principalmente (111) |
Densidade/Densidade | 3,21g/cm³ |
Dureza/Dureza | Dureza Vickers 2500 (carga de 500g) |
Tamanho do grão/Tamanho do grão | 2~10μm |
Pureza/Pureza Química | 99.99995% |
Capacidade térmica/capacidade térmica | 640 J·kg -1 ·K -1 |
Temperatura de Sublimação/Temperatura de Sublimação | 2700℃ |
Resistência à Flexão | 415 MPa RT de 4 pontos |
Módulo de Young | Curvatura de 430 Gpa 4 pontos, 1300℃ |
Condutividade Térmica/Condutividade Térmica | 300W·m -1 ·K -1 |
Coeficiente de Expansão Térmica/Expansão Térmica (CTE) | 4,5×10 -6 K -1 |
Damos boas-vindas a você para visitar nossa fábrica, vamos discutir mais!
Com capacidades de P&D desde materiais-chave até produtos de aplicação final, as principais e principais tecnologias de direitos de propriedade intelectual independentes alcançaram uma série de inovações científicas e tecnológicas.
